[實用新型]具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機

無效

• 申請號: 200620137898.8
• 申請日: 2006-09-29
• 公開（公告）號: CN200972570Y
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: 林憲維
• 申請（專利權）人: 科毅科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 天津三元專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 鄭永康

技術領域

本實用新型涉及一種曝光機，尤其涉及一種為內藏式設計不占空間，可分別進行三維調整，并可適用特殊定位標記的具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機。

背景技術

現有曝光機至少設一曝光頭，其用以朝一光罩照射一光線，該光線會穿過該光罩照射在一工作物上進行曝光，為確保光罩與工作物達到曝光定位，通常會設一影像擷取裝置，其可擷取光罩上與工作物上的兩個定位點影像以進行校準定位。

現有裝置存在以下問題：

1、外露式設計極占空間。現有影像擷取裝置為直立式，因曝光機臺的工作空間不足以設置，故為外露式設計，若要硬裝于該曝光機臺內，則需加大其工作空間，曝光機臺體積跟著變大，同樣占空間。

2、無法分別進行三維調整。現有影像擷取裝置固然設有兩個讀取部，但是，這兩個讀取部并不能分別進行三維調整，校準范圍受限。

3、無法適用于特殊定位標記。現有影像擷取裝置的兩個讀取部是借由兩個管部相連結而進行驅動，固然可以在工作空間內作X軸與Y軸方向的調整，但是，對于兩個可能不在同一直線上的特殊定位標記，就無法同時進行影像擷取，無法適用于特殊定位標記。

因此，有必要研發新技術以解決上述缺點。

實用新型內容

本實用新型所要解決的主要技術問題在于，克服現有技術存在的上述缺陷，而提供一種具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機，其為內藏式設計不占空間，可分別進行三維調整，并可適用特殊定位標記。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機，包括：一曝光機臺、一曝光頭、一光罩組件、一工作物載體、一對影像擷取裝置；其特征在于，所述曝光機臺，至少具有一工作空間；所述曝光頭，可移至該工作空間的上方且可垂直向下發出預定的光線；所述光罩組件，可移至該工作空間中，并用以承載一預定的光罩元件，該光罩元件上設有至少兩個第一定位記號；所述工作物載體，可移至該工作空間中且位于該光罩元件下方處，其用以承載一待曝光的工作物，該工作物上設有至少兩個第二定位記號；所述一對影像擷取裝置，以朝該光罩元件的第一定位記號及該工作物的第二定位記號方向擷取預定的影像；一對三軸調整裝置，每一三軸調整裝置是用以獨立調整對應的影像擷取裝置在X軸、Y軸、Z軸方向的空間位置。

前述的具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機，其中三軸調整裝置是至少包括一X軸調整部、一Y軸調整部及一Z軸調整部，進而可分別調整對應的影像擷取裝置在X軸、Y軸、Z軸方向的空間位置。

前述的具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機，其中影像擷取裝置是包括一概呈水平置放的管部及一讀取部，該讀取部的影像擷取方向是大約垂直該管部。

本實用新型的有益效果是，其為內藏式設計不占空間，可分別進行三維調整，并可適用特殊定位標記。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的較佳實施例的示意圖

圖2是本實用新型的部分結構的立體示意圖一

圖3是本實用新型的部分結構的立體示意圖二

圖4是本實用新型的部分結構的應用示意圖一

圖5是圖4所示結構的平面示意圖

圖6是本實用新型的部分結構的應用示意圖二

圖中標號說明：

10?曝光機臺??????????????????11?工作空間

20?曝光頭????????????????????21?光線

30?光罩組件????????????????????????31?光罩元件

311、311A、311B?第一定位記號???????40?工作物載體

41?工作物

411、411A、411B?第二定位記號

50?影像擷取裝置????????????????????51?管部

52?讀取部??????????????????????????60?三軸調整裝置

61?X軸調整部???????????????????????62?Y軸調整部

63?Z軸調整部???????????????????????P1?第一位置

P2?第二位置????????????????????????P3?第三位置

P4?第四位置

具體實施方式

本實用新型為一種具有可分別三軸調整的雙影像擷取裝置的曝光機，參閱圖1至圖4，其包括：

一曝光機臺10，至少具有一工作空間11；