[實用新型]具有可分別三軸調(diào)整的雙影像擷取裝置的曝光機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620137898.8
• 申請日: 2006-09-29
• 公開（公告）號: CN200972570Y
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發(fā)明（設計）人: 林憲維
• 申請（專利權(quán)）人: 科毅科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 天津三元專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 鄭永康

1.一種具有可分別三軸調(diào)整的雙影像擷取裝置的曝光機，包括：一曝光機臺、一曝光頭、一光罩組件、一工作物載體、一對影像擷取裝置；其特征在于，

所述曝光機臺，至少具有一工作空間；

所述曝光頭，可移至該工作空間的上方且可垂直向下發(fā)出預定的光線；

所述光罩組件，可移至該工作空間中，并用以承載一預定的光罩元件，該光罩元件上設有至少兩個第一定位記號；

所述工作物載體，可移至該工作空間中且位于該光罩元件下方處，其用以承載一待曝光的工作物，該工作物上設有至少兩個第二定位記號；

所述一對影像擷取裝置，以朝該光罩元件的第一定位記號及該工作物的第二定位記號方向擷取預定的影像；

一對三軸調(diào)整裝置，每一三軸調(diào)整裝置是用以獨立調(diào)整對應的影像擷取裝置在X軸、Y軸、Z軸方向的空間位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有可分別三軸調(diào)整的雙影像擷取裝置的曝光機，其特征在于所述三軸調(diào)整裝置是至少包括一X軸調(diào)整部、一Y軸調(diào)整部及一Z軸調(diào)整部，進而可分別調(diào)整對應的影像擷取裝置在X軸、Y軸、Z軸方向的空間位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有可分別三軸調(diào)整的雙影像擷取裝置的曝光機，其特征在于所述影像擷取裝置是包括一概呈水平置放的管部及一讀取部，該讀取部的影像擷取方向是垂直該管部。