[實用新型]霍爾型離子源無效
| 申請號： | 200620137860.0 | 申請日： | 2006-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN201160064Y | 公開（公告）日： | 2008-12-03 |
| 發明（設計）人： | 楊東升;王瓊先;葉軍;何欣 | 申請（專利權）人： | 北京鐠瑪時代科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02;H01J37/08;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 102206北京市大興區工業*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 霍爾 離子源 | ||
【權利要求書】：
1.一種霍爾型離子源，其特征在于，包括陽極，通過固定栓懸浮布置在陽極上方的陰極，以及用于將電、氣、冷卻介質引入到陽極和陰極中的電、氣、冷卻介質引入組件，其中由高導熱材料制成的所述陽極與所述電、氣冷卻介質引入組件直接相連，且所述陽極表面已采用導電薄膜進行改性。
2.根據權利要求1所述的霍爾型離子源，其特征在于，還包括罩住所述陽極的屏蔽外殼，所述屏蔽外殼的屏蔽間隙小于暗區距離。
3.根據權利要求1或2所述的霍爾型離子源，其特征在于，所述電、氣、冷卻介質引入組件采用密封結構引入真空室，所述密封結構通向大氣，從而使陽極底部處于大氣狀態，防止異常放電。
4.根據權利要求3所述的霍爾型離子源，其特征在于，所述密封結構為金屬玻紋管。
5.根據權利要求2所述的霍爾型離子源，其特征在于，所述屏蔽外殼與所述固定栓電絕緣地相連，并相對于所述陰極和所述陽極懸浮地設置。
6.根據權利要求4所述的霍爾型離子源，其特征在于，在金屬玻紋管連接處采用角度調整螺栓來調整方向。
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