[實(shí)用新型]基板檢測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620137618.3
• 申請日: 2006-10-08
• 公開（公告）號: CN201000519Y
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉公旭;林祈廷
• 申請（專利權(quán)）人: 東捷科技股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周國城

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型與基板檢測裝置有關(guān)，特別是有關(guān)于一種可快速地完成微調(diào)作業(yè)的基板檢測裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示器的制作過程中，必須通過由一檢測裝置來檢測液晶顯示器的一玻璃基板是否有瑕疵。

檢測裝置主要包含有一檢測平臺，用以承載玻璃基板，檢測平臺的周圍設(shè)有若干組探針，用以檢測玻璃基板。當(dāng)玻璃基板輸送至檢測平臺后，利用一光源照射在玻璃基板周緣的定位標(biāo)記，使玻璃基板完成定位的后，才能透過探針進(jìn)行檢測。

然而，為了大量生產(chǎn)液晶顯示器，原始的玻璃基板尺寸都相當(dāng)大，若玻璃基板輸送至檢測平臺的位置有偏差，造成光源的光線無法準(zhǔn)確地照射在玻璃基板的定位標(biāo)記時(shí)，必須再通過由一調(diào)整裝置來進(jìn)行微調(diào)的動作，但是由于玻璃基板的尺寸很大，導(dǎo)致微調(diào)作業(yè)會非常麻煩，且進(jìn)行微調(diào)作業(yè)的調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)也會相當(dāng)復(fù)雜。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種基板檢測裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，并可快速地完成微調(diào)作業(yè)，用以方便進(jìn)行檢測基板的動作。

為達(dá)成上述目的，本實(shí)用新型的基板檢測裝置包含有一檢測平臺、至少一檢測單元與至少一定位單元；該檢測平臺具有一工作平面，用以承載一基板；該檢測單元設(shè)于該檢測平臺的周緣，并位于該檢測平臺的上方，該檢測單元可相對該工作平面而沿一第一方向、一第二方向與一第三方向移動，其中該第一方向平行該工作平面，該第二方向平行該工作平面，并垂直該第一方向，該第三方向則分別垂直該工作平面、該第一方向與該第二方向；該定位單元設(shè)于該檢測平臺的周緣，并位于該檢測平臺的上方，該定位單元與該檢測單元電性連接，使該定位單元可同步與該檢測單元沿該第一方向與該第二方向移動。

通過此，本實(shí)用新型的基板檢測裝置可透過該檢測單元與該定位單元沿該第一方向與該第二方向的移動，使該定位單元可快速地對準(zhǔn)該基板的一定位標(biāo)記，用以方便該檢測單元進(jìn)行后續(xù)的檢測動作。

茲配合圖式列舉以下較佳實(shí)施例，用以對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)及功效進(jìn)行詳細(xì)說明；其中所用圖式先簡要說明如下：

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的局部立體圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為圖2沿3-3剖線的剖視圖；

圖4為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的局部側(cè)視圖；

圖5為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的使用示意圖；

圖6為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的動作示意圖，主要顯示檢測單元與定位單元沿第一方向的狀態(tài)；

圖7為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的動作示意圖，主要顯示檢測單元與定位單元沿第二方向的狀態(tài)；

圖8為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例的動作示意圖，主要顯示檢測單元沿第三方向的狀態(tài)；

圖9為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例所提供的檢測單元與定位單元相對工作平面旋轉(zhuǎn)的示意圖。

【主要組件符號說明】

基板檢測裝置10????基板12

定位標(biāo)記14????????檢測平臺20

工作平面202???????第一驅(qū)動裝置21

第一馬達(dá)212???????第一螺桿214

第一滑軌22????????第一移動座23

第一方向P1????????第二驅(qū)動裝置24

第二馬達(dá)242???????第二螺桿244

第二移動座25??????第二滑軌26

第二方向P2????????第三驅(qū)動裝置27

第三馬達(dá)272???????第三螺桿274

第三移動座28??????第三滑軌29

第三方向P3????????檢測單元30

探針32????????????定位單元40

電荷耦合組件42????鏡頭44

反射鏡46

具體實(shí)施方式

請參閱圖1、圖2及圖5，為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例所提供的基板檢測裝置10，該基板檢測裝置10包含有一檢測平臺20、四檢測單元30與四定位單元40。