[實用新型]基板檢測裝置

無效

• 申請號: 200620137618.3
• 申請日: 2006-10-08
• 公開（公告）號: CN201000519Y
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 葉公旭;林祈廷
• 申請（專利權）人: 東捷科技股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1.一種基板檢測裝置，其特征在于包含有：

一檢測平臺，具有一工作平面，用以承載一基板；

至少一檢測單元，設于該檢測平臺，相對該工作平面而沿一第一方向、一第二方向與一第三方向移動，其中該第一方向平行該工作平面，該第二方向平行該工作平面，并垂直該第一方向，該第三方向則分別垂直該工作平面、該第一方向與該第二方向；以及

至少一定位單元，設于該檢測平臺，并與該檢測單元電性連接，該定位單元同步與該檢測單元沿著該第一方向與該第二方向移動。

2.依據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述該檢測單元與該定位單元可同步以該第三方向為軸心而相對該工作平面旋轉一預定角度。

3.依據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述該檢測平臺具有一第一滑軌、一第二滑軌與一第三滑軌，該第一滑軌平行該第一方向，該第二滑軌平行該第二方向，該第三滑軌平行該第三方向；該檢測單元可位移地分別設于該第一滑軌、該第二滑軌與該第三滑軌，該定位單元則可位移地分別設于該第一滑軌與該第二滑軌。

4.依據權利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述該檢測平臺具有一第一移動座、一第二移動座與一第三移動座，該第一移動座設于該第一滑軌，該第二移動座設于該第一移動座，且該第二移動座與該第一移動座之間設有該第二滑軌，該第三移動座設于該第一移動座，且該第三移動座與該第二移動座之間設有該第三滑軌；該定位單元設于該第一移動座，并與該第二移動座連接，該檢測單元則與該第三移動座連接。

5.依據權利要求4所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述該檢測平臺更具有一第一驅動裝置、一第二驅動裝置與一第三驅動裝置，該第一驅動裝置是與該第一移動座連接，該第二驅動裝置是與該第二移動座連接，該第三驅動裝置是與該第三移動座連接。

6.依據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述該定位單元包含有一電荷耦合組件、一連接該電荷耦合組件的鏡頭與一連接該鏡頭的反射鏡。