[實(shí)用新型]晶圓研磨環(huán)構(gòu)造

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620137443.6
• 申請(qǐng)日: 2006-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN200984700Y
• 公開（公告）日: 2007-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡寶珠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蔡寶珠
• 主分類號(hào): B24B7/22
• 分類號(hào): B24B7/22;B24B29/02;B24B17/00;H01L21/304;H01L21/68
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 張岱

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種晶圓研磨環(huán)構(gòu)造，特別是指該金屬環(huán)的表面施以研磨加工處理而呈現(xiàn)光滑無(wú)車痕表面型態(tài)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有晶圓研磨環(huán)制造上，是先分別制作一金屬環(huán)以及一塑料環(huán)，再將該塑料環(huán)貼合固定于金屬環(huán)的一側(cè)面，其中該金屬環(huán)僅通過(guò)精密車制加工成型，為增加其貼合面膠劑結(jié)合的牢固性，業(yè)內(nèi)通常會(huì)于該金屬環(huán)的貼合面再施以噴砂處理獲得粗糙面效果，以提增膠劑的附著面積；上述現(xiàn)有晶圓研磨環(huán)的制造方法于實(shí)際應(yīng)用上存在下述問(wèn)題：

該金屬環(huán)的貼合面施以噴砂處理后，其貼合面于微觀下呈現(xiàn)不平整狀態(tài)，再加上膠劑層在尚未硬化之前也為不穩(wěn)定的構(gòu)造型態(tài)，如此所產(chǎn)生的誤差，使得該塑料環(huán)于完成貼合固定狀態(tài)后，其預(yù)定的研磨面平整度將出現(xiàn)相當(dāng)大的偏斜誤差值，以目前業(yè)內(nèi)制造的實(shí)際現(xiàn)況而言，該塑料環(huán)研磨面的誤差值通常高達(dá)0.1-0.2mm；晶圓研磨環(huán)成品于上機(jī)之后，其塑料環(huán)的研磨面旋轉(zhuǎn)時(shí)必須具備最佳的平整度方能符合預(yù)期的研磨精度及效果，但現(xiàn)有晶圓研磨環(huán)成品卻如前所述存在過(guò)大的誤差值，為修正此一誤差值，目前的作法，是在晶圓研磨環(huán)初次上機(jī)使用時(shí)，先進(jìn)行無(wú)工件的前置研磨作業(yè)，也就是使該晶圓研磨環(huán)的研磨面直接與工作平臺(tái)進(jìn)行接觸磨耗，直至其研磨面被磨耗至平整狀態(tài)后，才能進(jìn)行實(shí)際工件的研磨作業(yè)；而該前置研磨作業(yè)若以前述研磨面的誤差狀態(tài)而言，一般必須耗用3-4小時(shí)才能完成，如此可想而知，顯然造成研磨作業(yè)工時(shí)上的浪費(fèi)，且研磨機(jī)械進(jìn)行此項(xiàng)前置研磨作業(yè)將增加龐大的電能、機(jī)械耗損以及人事成本負(fù)擔(dān)(須有操作人員看顧)，不符合較佳的產(chǎn)業(yè)利用效益。

再者，該晶圓研磨環(huán)也將因?yàn)榍笆鲆蛩厮鞯拈L(zhǎng)時(shí)間前置研磨作業(yè)原因，使其在尚未進(jìn)行實(shí)際工件研磨作業(yè)之前，即必須磨耗掉約0.2mm的塑料環(huán)厚度，這對(duì)于原本可利用研磨厚度即相當(dāng)淺薄的塑料環(huán)而言(注：該塑料環(huán)可利用研磨厚度一般僅有3-5mm)，如此顯然更造成該塑料環(huán)磨耗加速、使用壽命縮短的問(wèn)題及缺弊。

所以，針對(duì)上述現(xiàn)有晶圓研磨環(huán)所存在的問(wèn)題及缺弊，如何研發(fā)出一種能夠大幅提升晶圓研磨環(huán)成品精度，使其能夠降低研磨加工成本的創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有待相關(guān)業(yè)內(nèi)技術(shù)人員再加以思索突破。

實(shí)用新型內(nèi)容

為克服上述缺陷，本實(shí)用新型主要目的在于提供一種晶圓研磨環(huán)構(gòu)造，對(duì)現(xiàn)有晶圓研磨環(huán)存在塑料環(huán)的研磨面平整精密度誤差過(guò)大，須進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的無(wú)工件前置研磨作業(yè)而造成研磨工時(shí)延宕以及成本提高問(wèn)題加以解決。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的晶圓研磨環(huán)構(gòu)造，其包括一金屬環(huán)以及貼合固定于該金屬環(huán)第一側(cè)面的一塑料環(huán)；該金屬環(huán)的第二側(cè)面為經(jīng)過(guò)研磨處理光滑無(wú)車痕的表面型態(tài)。

采用上述晶圓研磨環(huán)構(gòu)造，可使塑料環(huán)的研磨面達(dá)到較佳平整精密度，進(jìn)以大幅降低晶圓研磨環(huán)初次上機(jī)使用時(shí)研磨面平整精密度的誤差值，大幅縮短無(wú)工件的前置研磨作業(yè)時(shí)間，達(dá)到降低研磨機(jī)械的耗損、電能及人事成本，延長(zhǎng)晶圓研磨環(huán)的塑料環(huán)使用壽命的較佳產(chǎn)業(yè)利用效益及進(jìn)步性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型晶圓研磨環(huán)成品的正面角度立體圖。

圖2為本實(shí)用新型晶圓研磨環(huán)成品的背面角度立體圖。

圖3為本實(shí)用新型晶圓研磨環(huán)制造方法實(shí)施例的平面簡(jiǎn)示圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖1、圖2所示，本實(shí)用新型晶圓研磨環(huán)構(gòu)造的較佳實(shí)施例，此等實(shí)施例僅供說(shuō)明之用，在專利申請(qǐng)上并不受此結(jié)構(gòu)的限制；本實(shí)用新型所述的晶圓研磨環(huán)A構(gòu)造如圖1、圖2所示，其中該圖1所示為晶圓研磨環(huán)A的正面角度立體圖，圖2所示則為晶圓研磨環(huán)A的背面角度立體圖；該晶圓研磨環(huán)A包括一金屬環(huán)10以及貼合固定于該金屬環(huán)10第一側(cè)面11的一塑料環(huán)20；而其有別于現(xiàn)有構(gòu)造之處主要在于本實(shí)用新型的金屬環(huán)10的第二側(cè)面12為一種經(jīng)過(guò)研磨加工處理、光滑而無(wú)車痕的表面型態(tài)。

至于該所述晶圓研磨環(huán)制造方法的部份雖非本案所欲保護(hù)界定，但為使本實(shí)用新型的功效得以顯現(xiàn)，以下就其具體實(shí)施的步驟說(shuō)明如下，包括：(請(qǐng)參照?qǐng)D1、圖2、圖3所示)

a、分別制作一金屬環(huán)10以及一塑料環(huán)20；其中該金屬環(huán)10為具有預(yù)定厚度及內(nèi)、外徑的一圓環(huán)體型態(tài)，可采用車削加工成型外觀型態(tài)；該塑料環(huán)20則一般采用高分子塑料材料射出成型，以具備足夠耐磨硬度，作為一研磨晶圓的接口；

b、將該塑料環(huán)20貼合固定于金屬環(huán)10的第一側(cè)面11；