[實用新型]晶圓研磨環構造無效
| 申請號： | 200620137443.6 | 申請日： | 2006-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN200984700Y | 公開（公告）日： | 2007-12-05 |
| 發明（設計）人： | 蔡寶珠 | 申請（專利權）人： | 蔡寶珠 |
| 主分類號： | B24B7/22 | 分類號： | B24B7/22;B24B29/02;B24B17/00;H01L21/304;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 | 代理人： | 張岱 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市北*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 構造 | ||
【權利要求書】：
1、一種晶圓研磨環構造，其包括一金屬環以及貼合固定于該金屬環第一側面的一塑料環；其特征在于：該金屬環的第二側面為經過研磨處理光滑無車痕的表面型態。
2、根據權利要求1所述的晶圓研磨環構造，其特征在于：該塑料環于其遠離金屬環的該側面設制有一個以上廢物槽。
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