[實用新型]離子源引出縫調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620113054.X
• 申請日: 2006-04-24
• 公開（公告）號: CN200964436Y
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝均宇;孫勇;王瑋琪;王迪平
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265
• 代理公司: 北京中海智圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 曾永珠

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，尤其涉及一種半導(dǎo)體制造中離子注入所用的離子源引出縫的調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體器件制造的控制領(lǐng)域。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅猛發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備對工藝的要求也越來越高，離子注入機的束流傳輸效率好和束流品質(zhì)高是滿足注入工藝的基本要求，在離子注入機的光路系統(tǒng)中，離子源引出縫的位置對束流的傳輸效率和束流品質(zhì)起著非常重要的作用。然而，根據(jù)的離子源的狀態(tài)的不同，引出縫引出最佳束流的位置也可能不同，與以往采用固定位置的引出縫不同的是，當前的國內(nèi)外離子注入機都是采用可調(diào)節(jié)的引出縫來適應(yīng)這種需求。由于離子源引出縫所處的環(huán)境是離子注入機最高電位，干擾信號強，調(diào)節(jié)的穩(wěn)定性要求很高，這就給控制系統(tǒng)提出了很高的要求。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述存在的問題，本實用新型的目的是提供了一種采用一套閉環(huán)控制電路控制三個電機，通過電機調(diào)節(jié)離子源引出縫，使其穩(wěn)定在最合適的位置，并且抗干擾能力強的離子源引出縫調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)。

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的，一種離子源引出縫調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，包括主控制器、模擬量控制電路、直流電機、電位器和反饋控制驅(qū)動電路，其中模擬量控制電路一端通過光纖與主控制器連接，另一端與反饋控制驅(qū)動電路連接，反饋控制驅(qū)動電路與電機連接；模擬量控制電路將主控制器發(fā)送的位置信號轉(zhuǎn)變成電壓信號傳送給反饋控制驅(qū)動電路，反饋控制驅(qū)動電路將電壓信號進行處理后，驅(qū)動電機運動，電機帶動引出縫在三個方向上移動到目標位置，電位器裝在直流電機的轉(zhuǎn)軸上，直流電機上裝有絲桿。

所述的主控制器為工控機，用于判斷接收到的束流信息，來決定調(diào)節(jié)離子源引出縫的數(shù)值大小。

所述的模擬量控制電路是通用的模擬量控制電路，用于執(zhí)行主控制器發(fā)送的命令，輸出電壓信號給直流電機。

所述的三個直流電機直接調(diào)節(jié)離子源引出縫運動的執(zhí)行部件，可以分別帶動引出縫在三個方向運動。

所述的三個電位器用于給模擬量控制電路分別提供三個方向調(diào)節(jié)反饋電壓，它們分別裝在三個直流電機的轉(zhuǎn)軸上，直流電機在帶動引出縫運動的同時，通過相應(yīng)電位器的電壓也隨之變化，這樣就能實時反饋引出縫的位置電壓信號。

電位器為旋轉(zhuǎn)式電位器。

所述的反饋控制驅(qū)動電路包括數(shù)字量驅(qū)動電路、電機驅(qū)動電路、運算放大器、繼電器，其中電機驅(qū)動電路連接兩個運算放大器，電機驅(qū)動電路與電機之間設(shè)有繼電器。反饋控制驅(qū)動電路是通過三個繼電器來切換控制三個方向的電機，同時利用閉環(huán)控制的原理，將反饋的位置電壓信號通過運算放大器和模擬控制板輸出的目標位置的電壓信號作比較，從而輸出一個調(diào)節(jié)信號，再通過電機驅(qū)動電路輸出給直流電機，驅(qū)動電機運行。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

1、將控制信號與反饋信號通過運算放大器的比較輸出，消除了干擾信號引起的電壓突變的狀況，從硬件上解決了輸出控制信號的抗干擾問題。

2、采用閉環(huán)控制原理，離子源引出縫的位置反饋信號參與控制電機運動，使電路進行自動調(diào)節(jié)，讓電機穩(wěn)定在設(shè)定值。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)框圖；

圖2為反饋控制驅(qū)動電路原理圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。

如圖1所示，一種離子源引出縫調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，一種離子源引出縫調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，包括主控制器1、模擬量控制電路2、直流電機7、電位器4和反饋控制驅(qū)動電路3，其中模擬量控制電路2一端通過光纖與主控制器1連接，另一端與反饋控制驅(qū)動電路3連接，反饋控制驅(qū)動電路3與電機7連接；模擬量控制電路2將主控制器1發(fā)送的位置信號轉(zhuǎn)變成電壓信號傳送給反饋控制驅(qū)動電路3，反饋控制驅(qū)動電路3將電壓信號進行處理后，驅(qū)動電機7運動，電機7帶動引出縫在三個方向上移動到目標位置，電位器4裝在直流電機的轉(zhuǎn)軸上，直流電機7上裝有絲桿6。