[實用新型]離子源引出縫調節控制系統

無效

• 申請號: 200620113054.X
• 申請日: 2006-04-24
• 公開（公告）號: CN200964436Y
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發明（設計）人: 謝均宇;孫勇;王瑋琪;王迪平
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265
• 代理公司: 北京中海智圣知識產權代理有限公司
• 代理人: 曾永珠

1、離子源引出縫調節控制系統，包括主控制器、模擬量控制電路、直流電機、電位器和反饋控制驅動電路，其特征是模擬量控制電路一端通過光纖與主控制器連接，另一端與反饋控制驅動電路連接，反饋控制驅動電路與電機連接；模擬量控制電路將主控制器發送的位置信號轉變成電壓信號傳送給反饋控制驅動電路，反饋控制驅動電路將電壓信號進行處理后，驅動電機運動，電機帶動引出縫在三個方向上移動到目標位置，電位器裝在直流電機的轉軸上，直流電機上裝有絲桿。

2、根據權利要求1所述的離子源引出縫調節控制系統，其特征在于所述的主控制器為工控機。

3、根據權利要求1所述的離子源引出縫調節控制系統，其特征在于所述的電位器為旋轉式電位器。

4、根據權利求1所述的離子源引出縫調節控制系統，其特征在于所述的反饋控制驅動電路包括數字量驅動電路、電機驅動電路、運算放大器、繼電器，其中電機驅動電路連接兩個運算放大器，電機驅動電路與電機之間設有繼電器。