[實用新型]平面多關節機器人

無效

• 申請號: 200620094039.5
• 申請日: 2006-11-10
• 公開（公告）號: CN200970769Y
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: 王鳳利;徐方;李學威;惠龍;魏輝
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B25J1/00
• 分類號: B25J1/00;B25J18/04
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 許宗富;周秀梅

技術領域

本實用新型屬于工業機器人的機械本體，具體地說是一種平面多關節型機器人。

背景技術

隨著電子、航天、軍事和生物醫藥等工業的不斷發展，現代工業產品和現代科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。特別是國內半導體制造業發展迅速，要求半導體元器件在相當高的潔凈度環境下加工，一般的單純潔凈環境已經滿足不了最新半導體制造技術的要求，只有高真空環境才能滿足。在高真空環境下，所有的塵粒不再是漂浮在空間中，而是依靠其自身的重力落到空間的底部，并在空間抽取真空時被吸走，從而達到極高的潔凈環境。

在這種環境下搬運半導體元器件，要求搬運設備首先不能產生超出要求的塵粒，其次自身要有密封裝置，不能有超出要求的真空泄漏量，同時還要求整機的結構緊湊、安裝空間要小。

顯然，人工、普通機械手根本就不能用在高潔凈環境，潔凈環境下的機械手沒有針對真空環境的密封裝置。所以需要能夠適應高真空度、高潔凈度使用環境和滿足結構簡單緊湊、運動靈活可靠、重復定位精度高的要求的用于半導體器件搬運的小型機器人，然而，這種小型機器人目前尚無報道。

實用新型內容

針對上述現有技術中的設計要求，本實用新型的目的在于提供一種能夠適應高真空度、高潔凈度使用環境和滿足結構簡單緊湊、運動靈活可靠、重復定位精度高的要求的用于半導體器件搬運的平面多關節型機器人。它也適用于其他需要小型機器人的行業和場合。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案包括頂部裝有伸縮臂組件的立柱組件，所述立柱組件包括：

升降驅動裝置，包括絲杠絲母、絲杠支座、升降電機、下固定盤、絲母連接座，固定在下固定盤上的升降電機通過同步齒形帶與絲杠絲母中的絲杠相連，絲杠下端安裝在位于下固定盤中心的絲杠支座中，下固定盤通過連接柱與直線導向和直線密封及旋轉密封裝置中的固定盤相連，絲杠絲母中的絲母固定于內軸、外軸旋轉驅動裝置的絲母連接座下端；

內軸、外軸旋轉驅動裝置，包括內軸電機、內軸減速機、外軸電機、外軸減速機及連接環、固定架、絲母連接座，裝配有內軸減速機的內軸電機、裝配有外軸減速機的外軸電機分別安裝于固定架兩側，與直線導向和直線密封及旋轉密封裝置中的內、外軸相連；外軸減速機、內軸減速機同軸安裝于固定架上下兩端，絲母連接座與內軸減速機的下端相連，連接環下端與外軸減速機的上端安裝在一起，連接環的上端與直線導向和直線密封及旋轉密封裝置中的升降盤的下表面相連接；

直線導向和直線密封及旋轉密封裝置，包括旋轉支撐及鐵磁流體密封裝置、內軸、外軸、軸套、波紋管、上安裝法蘭盤、直線軸承、升降盤、固定盤，上安裝法蘭盤為整個機器人的固定安裝法蘭，與直線軸承中的光軸連接，光軸另一端與固定盤相連；直線軸承為升降導向裝置，其中的軸套固定于升降盤上，容置有內軸的外軸安裝于軸套內，軸套與升降盤固定；內軸與外軸間、外軸與軸套間設有旋轉密封用旋轉支撐及鐵磁流體密封裝置；波紋管為直線運動密封裝置，其兩端通過法蘭安裝于上安裝法蘭盤與升降盤之間、且于軸套的外面；內軸下端與內軸減速機輸出軸固定，外軸下端與外軸減速機輸出軸固定；

外罩罩在升降驅動裝置、內軸外軸旋轉驅動裝置、直線導向和直線密封及旋轉密封裝置的外面。

其中所述外軸電機及內軸電機分別通過同步齒形帶與內軸減速機及外軸減速機的輸入軸相連；

另外，所述伸縮臂組件為對稱型雙臂結構，包括第一大臂、第一小臂、第二小臂、第一連接座、第一末端執行器、第二末端執行器、第二連接座、第三小臂、第四小臂、第二大臂；第一大臂安裝于直線導向和直線密封及旋轉密封裝置中的外軸的上端，第二大臂安裝于直線導向和直線密封及旋轉密封裝置中的內軸上端；第一大臂、第二大臂、第二小臂、第三小臂、第一連接座、第一末端執行器組成第一手臂組，第一大臂的末端與第二小臂頭部鉸鏈，第二大臂的末端與第三小臂頭部鉸鏈，第二小臂和第三小臂的末端與第一連接座鉸鏈，第一末端執行器固定在第一連接座上，開口朝外；第一大臂、第二大臂、第一小臂、第四小臂、第二連接座、組成第二手臂組，第一大臂的末端與第一小臂頭部鉸鏈，第二大臂的末端與第四小臂頭部鉸鏈，第一小臂和第四小臂的末端與第二連接座鉸鏈，第二末端執行器固定在第二連接座上，開口朝外；