[實用新型]石英坩堝熔制機(jī)的堝體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620077814.6
• 申請日: 2006-09-22
• 公開（公告）號: CN200982819Y
• 公開（公告）日: 2007-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 池金陵
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州華爾光電子材料有限公司
• 主分類號: F27B14/10
• 分類號: F27B14/10
• 代理公司: 揚州市錦江專利事務(wù)所
• 代理人: 江平

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及用于拉制電子半導(dǎo)體單晶硅的石英玻璃坩堝技術(shù)，特別是坩堝的生產(chǎn)技術(shù)設(shè)備。

背景技術(shù)

為了生產(chǎn)內(nèi)層具有較少空氣層的石英玻璃坩堝，現(xiàn)有熔制機(jī)技術(shù)用內(nèi)腔形如石英玻璃坩堝形狀的堝體，在堝體上設(shè)置通孔，將通孔與堝體外的抽真空裝置連接，在堝體內(nèi)用加熱元件使加入堝體內(nèi)的石英砂熱熔，在其定型同時，由于抽真空裝置的作用，抽出混雜在石英砂中的空氣，最終形成內(nèi)層空氣較少，外層具有一定空氣雜質(zhì)的石英坩堝。為了實現(xiàn)抽真空的氣密性，性需在石英玻璃坩堝形狀的堝體外包裹密封的外層，耗費的耐高溫材料大，加大生產(chǎn)成本，而且外層因與堝體具有一定的間距，在生產(chǎn)過和中易產(chǎn)生變形，也影響了堝體的使用壽命。

實用新型內(nèi)容

本實用新型目的在于設(shè)計一種節(jié)約用材、延長使用壽命的石英坩堝熔制機(jī)的堝體。

本實用新型包括金屬堝體，在金屬堝體的側(cè)壁和底部分部通孔，在各通孔內(nèi)設(shè)置過濾件，在各通孔與堝體外的抽氣裝置之間連接通氣道，各通氣道連接在金屬堝體的外側(cè)壁上。

在金屬堝體的外側(cè)壁的通氣道不但可起到連通通孔和抽氣裝置的作用，其用材可大大減少，而且，在金屬堝體外側(cè)壁形面的凸起，可起到對金屬堝體加強(qiáng)筋的作用。本實用新型另一效果是，在各通氣道之間的金屬堝體直接可與外側(cè)的環(huán)境介質(zhì)進(jìn)行熱交換，利于金屬堝體的快速降溫。另，在各通孔內(nèi)設(shè)置過濾件，使小于空氣直徑的石英砂被阻擋在通孔內(nèi)，對真空泵起到保護(hù)作用。

上述通孔靠近金屬堝體中心的孔徑大、遠(yuǎn)離金屬堝體中心的孔徑小。

既能通空氣被順利抽出，又能阻擋石英砂。

為了防止置于通孔內(nèi)的過濾件堵塞通孔，所述通孔為臺階孔。

另外，堝體還設(shè)有金屬外殼，所述金屬堝體及道氣道設(shè)置在金屬外殼內(nèi)。

可在金屬外殼內(nèi)填充導(dǎo)熱材料，或用對流的傳熱介質(zhì)及時對堝體降溫，以進(jìn)一步提高堝體的使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為堝體的局部放大圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，在金屬堝體1的側(cè)壁和底部均勻開設(shè)若干臺階孔將通孔2，如圖2所示，通孔2靠近金屬堝體1中心的孔徑大、遠(yuǎn)離金屬堝體1中心的孔徑小。在各通孔2內(nèi)分別設(shè)置過濾件6，過濾件6可以為成纖維狀的石英棉或氧化毛氈，在金屬堝體1的外側(cè)壁上，于各通孔2外分別設(shè)置由金屬材料制成的通氣道3，通氣道3可成環(huán)狀或條狀，在同一通氣道3上可連通多個通孔2，通氣道3的另一端設(shè)有與堝體1外的抽氣裝置連接的管道。

金屬堝體1及所有通氣道3外設(shè)置金屬外殼5。可在金屬外殼5上開設(shè)與外界連通的通道4。