[實用新型]石英坩堝熔制機的堝體無效
| 申請號: | 200620077814.6 | 申請日: | 2006-09-22 |
| 公開(公告)號: | CN200982819Y | 公開(公告)日: | 2007-11-28 |
| 發明(設計)人: | 池金陵 | 申請(專利權)人: | 揚州華爾光電子材料有限公司 |
| 主分類號: | F27B14/10 | 分類號: | F27B14/10 |
| 代理公司: | 揚州市錦江專利事務所 | 代理人: | 江平 |
| 地址: | 2256*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石英 坩堝 熔制機 | ||
1、石英坩堝熔制機的堝體,包括金屬堝體,在金屬堝體的側壁和底部分部通孔,各通孔與堝體外的抽氣裝置連接,其特征在于在各通孔內設置過濾件,在各通孔與堝體外的抽氣裝置之間連接通氣道,各通氣道連接在金屬堝體的外側壁上。
2、根據權利要求1所述石英坩堝熔制機的堝體,其特征在于所述通孔靠近金屬堝體中心的孔徑大、遠離金屬堝體中心的孔徑小。
3、根據權利要求2所述石英坩堝熔制機的堝體,其特征在于所述通孔為臺階孔。
4、根據權利要求1或2或3所述石英坩堝熔制機的堝體,其特征在于堝體還設有金屬外殼,所述金屬堝體及道氣道設置在金屬外殼內。
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