[實(shí)用新型]晶圓表面淀積層生長(zhǎng)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620047810.3
• 申請(qǐng)日: 2006-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201016122Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代洪剛;馮春暖
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/00
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/00;H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海智信專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種晶圓表面淀積層生長(zhǎng)裝置，包括用于產(chǎn)生在晶圓表面生成淀積層所需氣體的氣體分離器，設(shè)置在氣體分離器下方的加熱帶，射頻帶，底座及設(shè)置在底座上的固定塊；晶圓放置在加熱帶上，射頻帶連接在固定塊與加熱帶之間，其特征在于，該裝置還包括設(shè)置在射頻帶外部的防護(hù)罩，其是一個(gè)封閉腔體，可以完全封閉射頻帶。

2.權(quán)利要求1所述的一種晶圓表面淀積層生長(zhǎng)裝置，其特征在于：防護(hù)罩與加熱帶及底座共同構(gòu)成一個(gè)封閉腔體。

3.權(quán)利要求1所述的一種晶圓表面淀積層生長(zhǎng)裝置，其特征在于：防護(hù)罩與加熱帶及固定塊共同構(gòu)成一個(gè)封閉腔體。

4.權(quán)利要求1所述的一種晶圓表面淀積層生長(zhǎng)裝置，其特征在于：所述防護(hù)罩的材質(zhì)是陶瓷。

5.權(quán)利要求1所述的一種晶圓表面淀積層生長(zhǎng)裝置，其特征在于：所述防護(hù)罩的材質(zhì)是防腐蝕材料。