[實用新型]一種定位裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200620045664.0
• 申請日: 2006-09-08
• 公開（公告）號: CN200979878Y
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發(fā)明（設計）人: 王春蘭;袁志揚
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型涉及一種定位裝置，具體地說，是一種用于半導體制造中運動模塊相對于固定模塊的定位裝置。

背景技術

在傳統(tǒng)的定位裝置中，普遍采用工裝進行定位。該種定位方式是首先在不動工件上安裝一個工裝，然后移動運動工件到工裝上，使運動工件與不動工件結合，通過工裝使運動工件定位，并通過定位銷將運動工件定位在不動工件上，最后再將工裝拆卸。

該種利用工裝進行定位的裝置，定位過程復雜，而且需另外設計工裝，增大成本；同時，先裝再卸的定位模式過于煩瑣，降低了生產效率。此外，采用定位銷定位會導致不能進一步調節(jié)精度，而且在維護工程中需要拆卸運動工件和不動工件進行重新定位，就會產生重復定位過程復雜的缺點，尤其是在多次重復定位后，定位精度還會降低。

專利申請?zhí)枮?00510024015.2的中國專利也揭露了一個快速重復定位裝置。該專利的裝置中在運動工件上設置定位滾輪，在不動工件上設置了長短兩個導軌。當運動工件安裝到不動工件的過程中，必須確保滾輪在長導軌上滾動，同時還須保證定位滾輪的凹槽在短導軌上移動，預安裝完成后，再通過定位銷進行x和y方向的定位。該種裝置的缺陷在于在預安裝過程中，很有可能滾輪的凹槽不能與短導軌精確配合，從而導致預安裝的失敗。此外，通過預安裝完成后采用定位銷進行精確定位，也具備在傳統(tǒng)定位裝置中采用定位銷所導致重復安裝煩瑣，定位精度下降等缺點。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種精確快速重復定位裝置，其具有較高的定位精度，而且定位快速及重復定位簡單。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的定位裝置包括不動工件和運動工件，其中，所述運動工件一側設置至少一個接觸塊，一個凹槽及一個一端收容在凹槽內的掛鉤，并且在不動工件上設有與接觸塊配合的提升組件及一個與掛鉤配合的掛鉤定位組件，在不動元件和運動元件接觸之間至少設有一個的墊片。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的定位裝置均是通過不動工件和運動工件的面接觸進行定位，同時兼具提升和定位的功能，無需專門的工裝，而且通過墊片進一步調節(jié)精度，調節(jié)快速，重復定位簡單，進而提高了工作效率。

附圖說明

通過以下對本實用新型定位裝置的一實施例結合其附圖的描述，可以進一步理解其實用新型的目的、具體結構特征和優(yōu)點。其中，附圖為：

圖1為本實用新型定位裝置中不動工件的結構示意圖；

圖2為本實用新型定位裝置中運動工件的結構示意圖；

圖3為圖1所示不動工件中提升塊的結構示意圖；

圖4為圖2所示運動工件中掛鉤的結構示意圖；

圖5為本實用新型定位裝置中的不動工件與運動工件安裝以后的局部剖視圖；

圖6為本實用新型定位裝置中的不動工件與運動工件安裝以后的另一局部剖視圖；

具體實施方式

如圖1、2所示，本實用新型的定位裝置包括運動工件1和不動工件2。運動工件1包括本體11，設置在本體11一側下方的接觸塊12，與接觸塊12位于同一平面的凹槽13及掛鉤14。其中，凹槽13內設置了兩個L形的擋板，這兩個擋板上分別設置兩個相互對應的圓孔。兩個接觸塊12分布在同一平面下方的兩側，兩個接觸塊12一側面均緊靠在本體11上，其底面向下凸伸形成帶有圓弧面的凸軌121。請參閱圖4，掛鉤14整體呈“工”狀，包括固定端141，自由端142，以及連接部143。其中，連接部143延伸至自由端142的外邊緣，且在靠近自由端142的底部設有凸緣144。固定端141的兩端分別安裝在凹槽13內兩個擋板的圓孔內，自由端142在安裝至不動工件2前自由下垂。此外，該運動組件1的底部還設置了四個滑輪，以便運動工件1安裝到不動工件2上。

請參閱圖2，不動工件2包括主框架21，位于主框架21底部的提升組件22，通過螺釘固定在主框架21兩側的兩個x向定位組件23，三個調節(jié)墊片24，呈L形的掛鉤定位組件25及掛鉤撥桿26。提升組件22包括分別位于兩端的兩個提升塊221，兩個粗定位塊222，旋轉軸223及與旋轉軸223一端連接的旋轉塊224。三個調節(jié)墊片24均用于調節(jié)運動工件1與不動工件2的y向定位精度，其中兩片調節(jié)墊片24分別與運動工件1的兩個接觸塊12相對應，還有一片調節(jié)墊片24位于主框架21的上方，在安裝后位于主框架21和運動工件1的本體11之間。