[實用新型]超純水制造用子系統

有效

• 申請號: 201220101480.7
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN202705158U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 川勝孝博;福井長雄
• 申請（專利權）人: 栗田工業株式會社
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 崔香丹;張永康

技術領域

本實用新型涉及一種設置于超純水的制造裝置中的子系統。?

背景技術

在半導體制造工藝等中，在從一次純水制造超純水的子系統中，采用了去除溶入純水中的氣體的脫氣裝置、降解有機物的UV裝置、去除離子性物質的連續電再生除鹽裝置或離子交換樹脂裝置、去除微粒子的膜(MF或UF)裝置。?

作為從如此操作所制造的超純水中進一步去除微量存在的雜質(特別是金屬離子)的純水處理裝置，可采用褶式離子交換過濾器或者離子交換樹脂塔。該褶式離子交換過濾器，是將無紡布或多孔膜等平板膜設成褶式而成的離子交換過濾器。褶式離子交換過濾器，具有壓力損失小的特征，而另一方面，由于膜厚薄而漏泄發生快，存在壽命短的問題(專利文獻1)。?

另一方面，對填充有離子交換樹脂(粒徑約50μm)的離子交換樹脂塔而言，存在壓力損失大的問題。若純水處理裝置的壓力損失大，則在使用地點的抵達壓力降低，因此需要使用升壓泵。?

現有技術文獻?

專利文獻1：日本特開2004-73924號?

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種在UF膜裝置(超濾膜裝置)的后級中具有壓力損失低的吸附裝置的超純水制造用子系統。?

本實用新型的技術方案1的超純水制造用子系統，其是從一次純水制造超純水的子系統，其至少包括UV裝置、脫氣裝置、離子交換樹脂裝置以及UF膜裝置，其特征在于，在該UF膜裝置的后級中，具有填充了粒徑為1～3mm的粒狀吸附體的吸附裝置，通過來自該UF膜裝置的流出水壓，在不使用升壓泵的情況下向該吸附裝置中通水。?

本實用新型的技術方案2的超純水制造用子系統，其是在技術方案1所述的超純水制造用子系統中，所述粒狀吸附體具有離子交換基或者螯合基。?

本實用新型的技術方案3的超純水制造用子系統，其是在技術方案1或2所述的超純水制造用子系統中，在所述吸附裝置的后級還設置有MF膜裝置或UF膜裝置。?

在本實用新型的子系統中，在UF膜裝置的后級，具有填充了粒徑為1mm以上的粒狀吸附體的吸附裝置，通過子系統所獲得的超純水的水質良好。本實用新型中，吸附體的粒徑為1mm以上，吸附裝置的通水壓力損失小。因此，不使用升壓泵，而通過UF膜裝置的流出水壓，能夠向該吸附裝置中進行通水，并且使設備成本變得低廉。并且，也不存在來自升壓泵所產生的雜質混入超純水中的現象。?

附圖說明

圖1是超純水制造裝置的流程圖。?

圖2是超純水制造裝置的流程圖。?

圖3是超純水制造裝置的流程圖。?

圖4是填充體的立體圖，并且，其中的（a）、（b）是粒子填充體的模型，（a）為圓筒狀、（b）為圓柱狀。?

圖5是吸附裝置的構成圖，并且，其中的（a）是吸附裝置18的剖面圖，其中，在具有流入口31和流出口32的圓筒狀外殼30內，通過支撐體21以同軸狀方式設置了多個（此例有2個）填充體（吸附體的填充體）20；（b）是支撐體21的分解剖面圖；（c）是支撐體21的分解俯視圖。?

圖6是吸附裝置的構成圖，并且，其中，（a）是省略了吸附裝置18的外殼30的流入側的端蓋（end?plate）的吸附裝置18′，（b）是將該吸附裝置18′配置在耐壓容器40內，將流出口32連接于耐壓容器出口部42，并且，將水從耐壓容器40的供給口41出發流入耐壓容器40內，從出口部42取出吸附裝置18′的處理水。?

附圖標記的說明?

1預處理系統????18吸附裝置?

2一次純水系統??20填充體?

3子系統??30外殼?

17UF膜裝置?

具體實施方式

下面，通過參照附圖，詳細說明本實用新型的實施方式。?

本實用新型的子系統，在UF膜裝置的后級一側，設置了填充有粒徑為1～3mm的吸附體的吸附裝置。將具有該子系統的超純水制造裝置的一個整體流程的實例示于圖1～圖3中。?

圖1～圖3的各超純水制造裝置，均由預處理系統1、一次純水系統2和子系統3來構成。?