[實用新型]一種氣體質量流量控制器無效
| 申請號: | 200620015915.0 | 申請日: | 2006-11-20 |
| 公開(公告)號: | CN200969048Y | 公開(公告)日: | 2007-10-31 |
| 發明(設計)人: | 蘆惠云 | 申請(專利權)人: | 蘆惠云 |
| 主分類號: | G05D7/06 | 分類號: | G05D7/06;F16K1/00;F16K31/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 523009廣東省東莞市南城*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 氣體 質量 流量 控制器 | ||
1、一種氣體質量流量控制器,包括一中空的基體,設置在基體內部的一流量檢測器,一電路板,一流量控制閥,一與基體緊密螺接的中空的本體,設置在本體內的一氣體流層通道,其特征在于,所述流量控制閥的閥頭與閥體之間設有抗疲勞高的雙彈簧片調節機構,閥頭與閥座之間設有接觸面積較大的平面。
2、根據權利要求1所述的一種氣體質量流量控制器,其特征在于,所述流量檢測器可以是毛細管細繞式溫度傳感器。
3、根據權利要求1所述的一種氣體質量流量控制器,其特征在于,所述電路板包括測量和控制電路。
4、根據權利要求1所述的一種氣體質量流量控制器,其特征在于,所述氣體流層通道內設有一錐形銷限流器。
5、根據權利要求1所述的一種氣體質量流量控制器,其特征在于,所述流量控制閥的線圈繞組為四匝。
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