[實(shí)用新型]一種氣體質(zhì)量流量控制器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620015915.0
• 申請(qǐng)日: 2006-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN200969048Y
• 公開（公告）日: 2007-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘆惠云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘆惠云
• 主分類號(hào): G05D7/06
• 分類號(hào): G05D7/06;F16K1/00;F16K31/06
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• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及直接測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的裝置，更具體地說，涉及一種通過傳感器，經(jīng)過電量轉(zhuǎn)換電路控制流量控制閥而控制氣體質(zhì)量流量的控制器。

技術(shù)背景

現(xiàn)有的氣體質(zhì)量流量器主要缺點(diǎn)是閥體內(nèi)單彈簧片位置不定，易變動(dòng)，彈力不穩(wěn)定，隨著入口壓力增加，閥體內(nèi)彈片的漏氣率隨之增大，另外，這種氣體質(zhì)量流量器的功率消耗大，比較浪費(fèi)電能。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷，提供一種能夠直接定位的雙彈簧片的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，提高了雙彈簧片的抗疲勞強(qiáng)度，同時(shí)提高電磁閥的穩(wěn)定性，入口壓力大，漏氣率降低，并且功耗低的氣體質(zhì)量流量控制器。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下：構(gòu)造一種氣體質(zhì)量流量控制器，包括一中空的基體、設(shè)置在基體內(nèi)部的一流量檢測(cè)器、一電路板、一流量控制閥、一與基體緊密螺接的中空的本體、設(shè)置在本體內(nèi)的一氣體層流通道。

在上述氣體質(zhì)量流量控制器中，所述流量檢測(cè)器包括毛細(xì)管細(xì)繞式溫度傳感器。

在上述氣體質(zhì)量流量控制器中，所述電路板包括測(cè)量和控制電路。

在上述氣體質(zhì)量流量控制器中，所述流量控制閥的閥頭與閥體之間設(shè)有抗疲勞高的雙彈簧片調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，閥頭與閥座之間設(shè)有接觸面積較大的平面，入口壓力大，降低漏氣率。

在上述氣體質(zhì)量流量控制器中，所述流量控制閥的線圈繞組為四匝。

在上述氣體質(zhì)量流量控制器中，所述氣體層流通道內(nèi)設(shè)有一錐形銷限流器。

在上述氣體質(zhì)量流量控制器中，所述流量檢測(cè)器與流量控制閥可以單獨(dú)使用。

工作原理：氣體質(zhì)量流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)流量控制閥，從而實(shí)現(xiàn)通、斷控制與連續(xù)控制，完成對(duì)氣體質(zhì)量流量的緊密控制。

本實(shí)用新型所述的氣體質(zhì)量流量控制器的有益效果是：通過能夠直接定位的雙彈簧片的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，提高了雙彈簧片的抗疲勞強(qiáng)度，同時(shí)提高了流量控制閥的穩(wěn)定性，入口壓力大，漏氣率降低，并且功耗低的氣體質(zhì)量流量控制器。

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所述的氣體質(zhì)量流量控制器作進(jìn)一步說明：

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型氣體質(zhì)量流量控制器的裝配圖；

圖2是流量控制閥的剖面示意圖。

具體實(shí)施方式

以下是本實(shí)用新型所述的氣體質(zhì)量流量控制器最佳實(shí)施例，并不因此限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

參考圖1，圖2，一種氣體質(zhì)量流量控制器，包括中空的基體19，設(shè)置在基體內(nèi)部的流量檢測(cè)器23、電路板18、流量控制閥16、與基體緊密螺接的中空的本體1、設(shè)置在本體內(nèi)的氣體流層通道2。

流量檢測(cè)器23包括毛細(xì)管細(xì)繞式溫度傳感器24，傳感器外殼22，傳感器外殼22緊密連接在傳感器固定板29頂部，傳感器固定板29的底部與本體1之間緊密螺接，毛細(xì)管細(xì)繞式溫度傳感器24的管體27穿設(shè)在傳感器固定板29的底部，與本體1的分流孔21緊密連接。

電路板18包括測(cè)量和控制電路。

流量控制閥16的閥頭5與閥體8之間設(shè)有抗疲勞高的雙彈簧片調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)7，該雙彈簧片調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)7能起到直接定位和導(dǎo)向的作用，既提高了流量控制閥16的穩(wěn)定度，有加強(qiáng)了閥芯12與閥桿15的同心度，閥頭5的底平面A與閥座4的端平面B之間設(shè)置為接觸面積較大的平面接觸，入口壓力大，降低漏氣率，流量控制閥16的線圈繞組10為四匝。

流量控制閥16的連續(xù)可調(diào)工作原理是：來自測(cè)量電路的電壓信號(hào)與設(shè)定值進(jìn)行比較，其差值通過控制電路的積分調(diào)節(jié)電路的調(diào)節(jié)作用給流量控制閥16發(fā)出控制信號(hào)，直至流量控制閥16使流量等于設(shè)定值。

使用毛細(xì)管直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量尾直通式，適用于微小氣體流量的測(cè)量和控制，因?yàn)閭鞲衅鞯妮敵鎏匦猿蕭佄锞€形，即氣體的流量超過線性斷后，輸出的信號(hào)隨氣體流量的增大而減小，為保證毛細(xì)管內(nèi)的氣體流量在輸出信號(hào)的線性段范圍內(nèi)，在本體1內(nèi)部氣體流層通道2內(nèi)設(shè)有一錐形銷限流器31而形成分流式結(jié)構(gòu)，毛細(xì)管內(nèi)的氣體流量與主通道內(nèi)的氣體流量成固定比例，選擇不同的分流比例，將由不同的氣體質(zhì)量流量的量程，因而分流式結(jié)構(gòu)可以滿足任一氣體量量的測(cè)量要求。

在本體1左、右端均設(shè)有連接螺母34，以方便與主通道連接。

工作原理：氣體質(zhì)量流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制流量控制閥16，從而實(shí)現(xiàn)通、斷控制與連續(xù)控制，完成對(duì)氣體質(zhì)量流量的緊密控制。