[發(fā)明專利]特別是用于測(cè)量薄層厚度的裝置的測(cè)量探針有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610171829.3 | 申請(qǐng)日： | 2006-11-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1975319A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | H·費(fèi)希爾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 赫爾穆特·費(fèi)希爾地產(chǎn)兩合公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B7/00 | 分類號(hào)： | G01B7/00;G01B7/06;G01B1/00 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 溫大鵬;胡強(qiáng) |
| 地址： | 德國(guó)辛*** | 國(guó)省代碼： | 德國(guó);DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 特別是 用于 測(cè)量 薄層 厚度 裝置 探針 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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