[發明專利]特別是用于測量薄層厚度的裝置的測量探針有效
| 申請號： | 200610171829.3 | 申請日： | 2006-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN1975319A | 公開（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發明（設計）人： | H·費希爾 | 申請（專利權）人： | 赫爾穆特·費希爾地產兩合公司 |
| 主分類號： | G01B7/00 | 分類號： | G01B7/00;G01B7/06;G01B1/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 溫大鵬;胡強 |
| 地址： | 德國辛*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 特別是 用于 測量 薄層 厚度 裝置 探針 | ||
【權利要求書】：
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