[發(fā)明專利]一種陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610165559.5 | 申請(qǐng)日： | 2006-12-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101204701A | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱哲淵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/00 | 分類號(hào)： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 鄭立明;郭宗勝 |
| 地址： | 100016北京市*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 陽(yáng)極 氧化 零件 表面 清洗 方法 | ||
1.一種陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：
A、用有機(jī)溶劑清洗零件表面；
B、用堿性溶液清洗零件表面；
C、用酸性溶液清洗零件表面；
D、用氟化酮或氟化酮與有機(jī)溶劑的混合溶液清洗零件表面；
E、用超聲波清洗零件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步驟A前還包括：
用超純水清洗零件表面；具體用超純水噴淋零件表面不少于設(shè)定的噴淋時(shí)間，用潔凈的高壓氣體吹干零件的表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步驟A包括：
A1、用有機(jī)溶劑擦拭零件，直至無(wú)帶色的雜質(zhì)脫落；和/或，
A2、用有機(jī)溶劑噴淋零件設(shè)定的噴淋時(shí)間，并可重復(fù)多次，且每次的噴淋時(shí)間與所用有機(jī)溶劑的可相同或不同；和/或，
A3、用有機(jī)溶劑浸泡零件設(shè)定的浸泡時(shí)間，并可重復(fù)多次，且每次的浸泡時(shí)間與所用有機(jī)溶劑的可相同或不同；
和/或，
A4、在擦拭、噴淋和/或浸泡零件清洗后還包括用超純水沖洗零件表面，并用潔凈的高壓氣體吹干零件的表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的有機(jī)溶劑為：
含量為100％的異丙醇；或者，
含量為100％的乙醇；或者，
含量為100％的丙酮；
所述的異丙醇、乙醇與丙酮不低于SEMI標(biāo)準(zhǔn)的一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步驟B包括：
B1、用堿性溶液浸泡零件不少于設(shè)定的清洗時(shí)間；
B2、用潔凈的擦拭物擦拭零件再用超純水沖洗零件表面，并用潔凈的高壓氣體吹干零件的表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于：
所述的堿性溶液包括：氫氧化銨NH4OH、雙氧水H2O2與水H2O，其各組份的質(zhì)量含量比為：
NH4OH∶H2O2∶H2O，比例為1∶1∶1～20。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步驟C包括：
C1、用酸性溶液擦拭零件，不超過(guò)設(shè)定的擦拭時(shí)間；
C2、用超純水沖洗零件表面，并用潔凈的高壓氣體吹干零件的表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于：
所述的酸性溶液包括硝酸HNO3、氫氟酸HF、過(guò)硫酸銨(NH4)2SO4與水H2O，其各組份的質(zhì)量含量比為：
HNO3∶HF∶(NH4)2SO4∶H2O為1∶1∶1∶10～50。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步驟D包括：
用質(zhì)量含量為1％-20％的氟化酮與有機(jī)溶劑的混合溶液浸泡零件表面，再用超純水沖洗零件表面，并用潔凈的高壓氣體吹干零件的表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陽(yáng)極氧化零件表面的清洗方法，其特征在于，所述的步驟E包括：
E1、將零件放入超純水的超聲槽中以10-26KHz頻率進(jìn)行清洗20-40分鐘，超純水水溫為40-70℃，超聲能量密度小于30瓦/加侖；和/或，
E2、將零件放入去離子水的超聲槽中以較30-45KHz頻率進(jìn)行清洗20-30分鐘，去離子水水溫為40-70℃，超聲能量密度小于30瓦/加侖。
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