[發(fā)明專利]等離子去膠臺可調(diào)式載片體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610165109.6
• 申請日: 2006-12-13
• 公開（公告）號: CN101201558A
• 公開（公告）日: 2008-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王俊;白一鳴
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;G03F7/36;G03F7/26;H01L21/027
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 湯保平

1.一種等離子去膠臺可調(diào)式載片體，用于等離子去膠臺中承載并固定待清洗或去膠的外延片，其特征在于，包括：

一承載體，該承載體為一矩形，該承載體的上面中間兩側(cè)分別有一螺孔；

兩探針架，該兩探針架類似于套管天線的結(jié)構(gòu)，其長度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架的一端分別用螺絲固定在承載體上面的螺孔上；

兩探針，該探針為細(xì)絲狀，該兩探針的一端分別固定在兩探針架的另一端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子去膠臺可調(diào)式載片體，其特征在于，其中所述的探針架包括：多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體，該桿體的一端為金屬片，該金屬片上有一螺絲孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求3所述的等離子去膠臺可調(diào)式載片體，其特征在于，其中所述的多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體的節(jié)數(shù)為兩至五節(jié)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子去膠臺可調(diào)式載片體，其特征在于，其中所述的承載體為絕熱耐溫的聚四氟乙烯材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子去膠臺可調(diào)式載片體，其特征在于，其中所述的兩探針架為金屬材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子去膠臺可調(diào)式載片體，其特征在于，其中所述的兩探針為金屬材料。