[發(fā)明專利]等離子去膠臺可調(diào)式載片體

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610165109.6
• 申請日: 2006-12-13
• 公開（公告）號: CN101201558A
• 公開（公告）日: 2008-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王俊;白一鳴
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;G03F7/36;G03F7/26;H01L21/027
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 湯保平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于機(jī)械領(lǐng)域，用于半導(dǎo)體外延片的去膠或清洗，特別是指一種用于等離子去膠臺可調(diào)式載片體。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體工業(yè)，作為21世紀(jì)信息社會的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重要支柱，對世界經(jīng)濟(jì)產(chǎn)生著強(qiáng)有力的驅(qū)動作用。近些年，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備的研制和開發(fā)也應(yīng)運(yùn)而生。比較有代表性的產(chǎn)品有等離子去膠臺、光刻機(jī)、快速合金爐(4英寸和6英寸)、探針臺、擴(kuò)散爐和退火爐、清洗機(jī)以及正在開發(fā)的芯片倒裝焊機(jī)等。等離子去膠臺設(shè)備具有去膠工藝簡單、可靠、徹底、速率快、成品率高、無酸氣廢水、且電磁兼容性能優(yōu)良、高頻輻射小等特點(diǎn)而在半導(dǎo)體工藝線上發(fā)揮著重要的作用。

現(xiàn)在等離子去膠臺普遍使用的載片體是一長方體石英平板，其上無任何固定裝置。這種載片體的特點(diǎn)是：片子的取放比較方便，比較適合面積較小的襯底。但這種載片體也存在很大的欠缺，即片子在被去膠的過程中，由于震動或反應(yīng)室的氣流等原因常常使片子位置發(fā)生變化，甚至掉落，使片子碎裂，尤其是對于面積較大的片子，從而在人力、物力和財力上造成很大的損失。本發(fā)明提供一種等離子去膠臺可調(diào)式載片體，該載片體可以根據(jù)片子的不同形狀、大小做出相應(yīng)的調(diào)整，再進(jìn)行固定，從而避免由于震動或其他原因引起的片子碎裂，且裝卸靈活，制作簡便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于：提供一種等離子去膠臺可調(diào)式載片體，該載片體可以根據(jù)片子的不同形狀大小而做出相應(yīng)的調(diào)整，再進(jìn)行固定，且裝卸靈活，制作簡便。

本發(fā)明的目的是由以下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

本發(fā)明一種等離子去膠臺可調(diào)式載片體，用于等離子去膠臺中承載并固定待清洗或去膠的外延片，其特征在于，包括：

一承載體，該承載體為一矩形，該承載體的上面中間兩側(cè)分別有一螺孔；

兩探針架，該兩探針架類似于套管天線的結(jié)構(gòu)，其長度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架的一端分別用螺絲固定在承載體上面的螺孔上；

兩探針，該探針為細(xì)絲狀，該兩探針的一端分別固定在兩探針架的另一端。

其中所述的探針架包括：多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體，該桿體的一端為金屬片，該金屬片上有一螺絲孔。

其中所述的多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體的節(jié)數(shù)為兩至五節(jié)。

其中所述的承載體為絕熱耐溫的聚四氟乙烯材料。

其中所述的兩探針架為金屬材料。

其中所述的兩探針為金屬材料。

本發(fā)明的有益效果是：

1、該等離子去膠臺可調(diào)式載片體可以固定待清洗或去膠的外延片，從而避免由于震動等原因引起的片子碎裂。

2、該等離子去膠臺可調(diào)式載片體可以根據(jù)外延片的形狀大小而做出相應(yīng)的調(diào)整，尤其對于面積較大的外延片，且裝卸方便靈活。

3、該等離子去膠臺可調(diào)式載片體制作方法簡單，成本低廉。

附圖說明

為了進(jìn)一步說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和特征，以下結(jié)合實(shí)施例及附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明，其中：

圖1是本發(fā)明可調(diào)式載片體的立體分解圖。

圖2是該可調(diào)式載片體在工作狀態(tài)下的立體圖。

具體實(shí)施方式

請參閱圖1所示，本發(fā)明一種等離子去膠臺可調(diào)式載片體，用于等離子去膠臺中承載并固定待清洗或去膠的外延片，包括：

一承載體10，該承載體10為一矩形，該承載體10的上面中間兩側(cè)分別有一螺孔11，所述的承載體10為絕熱耐溫的聚四氟乙烯材料；

兩探針架20，該兩探針架20類似于套管天線的結(jié)構(gòu)，其長度可以伸縮調(diào)節(jié)，該兩探針架20的一端分別用螺絲固定在承載體10上面的螺孔11上，所述的探針架20包括：多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體21，該桿體21的一端為金屬片22，其中所述的多節(jié)可以伸縮調(diào)節(jié)的桿體21的節(jié)數(shù)為兩至五節(jié)，該金屬片22上有一螺絲孔23，所述的兩探針架20為金屬材料；

兩探針30，該探針30為細(xì)絲狀，該兩探針30的一端分別固定在兩探針架20的另一端，所述的兩探針30為金屬材料。

請參閱圖2所示，本發(fā)明等離子去膠臺可調(diào)式載片體的工作過程為：