[發(fā)明專利]擺閥及控制反應(yīng)腔室壓力的方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610164904.3 | 申請(qǐng)日： | 2006-12-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101196258A | 公開（公告）日： | 2008-06-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 榮延棟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | F16K99/00 | 分類號(hào)： | F16K99/00 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙鎮(zhèn)勇;郭宗勝 |
| 地址： | 100016北京市*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 控制 反應(yīng) 壓力 方法 | ||
1.一種擺閥，安裝于反應(yīng)腔室的抽氣口處，用于控制反應(yīng)腔室的壓力，所述擺閥通過軸與反應(yīng)腔室鉸接，其特征在于，
所述擺閥可繞軸作橫向旋轉(zhuǎn)，使擺閥相對(duì)抽氣口做平移運(yùn)動(dòng)；
所述擺閥可繞軸作縱向旋轉(zhuǎn)，使擺閥相對(duì)抽氣口做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；
所述平移運(yùn)動(dòng)與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)可同時(shí)進(jìn)行，也可以單獨(dú)進(jìn)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擺閥，其特征在于，所述的擺閥與控制裝置電連接，所述控制裝置自動(dòng)控制擺閥的平移運(yùn)動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
3.一種控制反應(yīng)腔室壓力的方法，通過控制上述擺閥對(duì)抽氣口的開啟大小控制反應(yīng)腔室壓力，其特征在于，所述擺閥對(duì)抽氣口的開啟大小通過擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，所述擺閥的平移運(yùn)動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)由控制裝置根據(jù)設(shè)定的壓力值自動(dòng)控制。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，所述控制裝置還根據(jù)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量控制擺閥的平移運(yùn)動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為50sccm，且設(shè)定的壓力小于等于50mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力；
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為50sccm，且設(shè)定的壓力大于50mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為75sccm，且設(shè)定的壓力小于等于45mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力；
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為75sccm，且設(shè)定的壓力大于45mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為100sccm，且設(shè)定的壓力小于等于40mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力；
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為100sccm，且設(shè)定的壓力大于40mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為150sccm，且設(shè)定的壓力小于等于35mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力；
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為150sccm，且設(shè)定的壓力大于35mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)節(jié)反應(yīng)腔室壓力的方法，其特征在于，
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為200sccm，且設(shè)定的壓力小于等于30mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力；
當(dāng)向反應(yīng)腔室供入的氣體流量為200sccm，且設(shè)定的壓力大于30mT時(shí)，控制裝置通過控制擺閥相對(duì)抽氣口的平移運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制反應(yīng)腔室的壓力。
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