[發明專利]一種6nm－100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置

無效

• 申請號: 200610163271.4
• 申請日: 2006-12-18
• 公開（公告）號: CN101169349A
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發明（設計）人: 鞏巖
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01M11/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所
• 代理人: 南小平

技術領域

本發明屬于短波段成像光學領域，具體的說是一種極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置。

背景技術

對成像光學儀器系統的成像質量評價是光學儀器研發過程中必不可少的環節，也是儀器應用功能驗證的重要指標之一。光學系統成像質量評價方法主要有星點法、刀口法、陰影法、分辨率測量、調制傳遞函數測量等。其中分辨率測量是最簡單，最直接的方法。一般情況下，大多數可見或紅外光學儀器系統采用分辨率測量的的檢測方法和裝置如參考圖1，表述如下：光源1產生的平行光通過鑒別率板2后經反射鏡3和4，最后經過待檢成像系統5在探測器6上成像，根據所成影像中鑒別率板的線對的清晰程度，經過計算既可得到待檢成像光學系統的分辨率數據。

隨著極紫外光刻光學和空間高分辨率極紫外成像光學系統研究的深入，迫切需要一種能在極紫外波段檢測該波段光學成像系統的成像質量的裝置。對于極紫外成像光學系統的成像質量尤其是分辨率的檢測用前面所述的通常做法是無法實現的。這是因為：極紫外光無法在除真空以外的任何其它介質中傳播，而常規的分辨率板都是在石英玻璃或其它光學材料上進行刻畫而得到的，所以用常規的分辨率板不能實現極紫外成像系統成像質量檢測。

發明內容

本發明的目的在于：參照普通成像光學儀器系統成像質量檢測方法，設計一種能夠用于極紫外成像光學系統成像質量檢測的裝置。

為實現上述目的，在本發明中設計了如圖2所表示的檢測裝置，整個光學系統均處于真空條件下，極紫外光源1發出極紫外光束經過精密刻畫的金屬柵網7后，打到反射鏡3和4，最后經過待測極紫外成像光學系統5在極紫外相機6上成像，金屬柵網的網格尺度與所成的像進行比較，經過計算即可得到待測光學系統的分辨率數據。

極紫外光源可選擇空心陰極光源或者激光等離子體光源，網柵可通過微機械加工方法、常規光刻或者同步輻射LIGA工藝獲得，網柵網格精度2-25μm.。用金屬鎳制成。

本發明的有益效果為：提供了一種結構簡單、性能可靠能夠對極紫外成像光學儀器成像質量進行測試的裝置。

附圖說明：

圖1為大多數可見或紅外光學儀器系統采用分辨率測量的的檢測方法和裝置。

圖2為本發明極紫外成像光學系統成像質量檢測的裝置。

圖3為金屬網柵的放大照片。

其中圖2為說明書摘要附圖。

具體實施方式

具體實施方式1：

整個光學系統均處于真空條件下，極紫外光源1發出極紫外光束經過精密刻畫的金屬柵網7后，打到反射鏡3和4，最后經過待測極紫外成像光學系統5在極紫外相機6上成像，金屬柵網的網格尺度與所成的像進行比較，經過計算即可得到待測光學系統的分辨率數據。

極紫外光源可選擇空心陰極光源，網柵可通過微機械加工方法、獲得，網柵網格精度19μm.。用金屬鎳制成。

具體實施方式2：

整個光學系統均處于真空條件下，極紫外光源1發出極紫外光束經過精密刻畫的金屬柵網7后，打到反射鏡3和4，最后經過待測極紫外成像光學系統5在極紫外相機6上成像，金屬柵網的網格尺度與所成的像進行比較，經過計算即可得到待測光學系統的分辨率數據。

極紫外光源選擇激光等離子體光源，網柵可通過同步輻射LIGA工藝獲得，網柵網格精度13μm.。用金屬鎳制成。

具體實施方式3：

整個光學系統均處于真空條件下，極紫外光源1發出極紫外光束經過精密刻畫的金屬柵網7后，打到反射鏡3和4，最后經過待測極紫外成像光學系統5在極紫外相機6上成像，金屬柵網的網格尺度與所成的像進行比較，經過計算即可得到待測光學系統的分辨率數據。

極紫外光源選擇激光等離子體光源，網柵通過同步輻射LIGA工藝獲得，網柵網格精度2μm.。用金屬鎳制成。