[發明專利]一種6nm－100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置無效

申請號：	200610163271.4	申請日：	2006-12-18
公開（公告）號：	CN101169349A	公開（公告）日：	2008-04-30
發明（設計）人：	鞏巖	申請（專利權）人：	中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
主分類號：	G01M11/00	分類號：	G01M11/00;G01M11/02
代理公司：	長春菁華專利商標代理事務所	代理人：	南小平
地址：	130031吉***	國省代碼：	吉林;22
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 nm 100 波段紫外成像光學儀器質量測試裝置
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【權利要求書】：

1.一種6nm-100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置，光源(1)產生的平行光通過鑒別率板(2)后經反射鏡(3)和(4)，最后經過待檢成像系統(5)在探測器(6)上成像，根據所成影像中鑒別率板的線對的清晰程度，經過計算既可得到待檢成像光學系統的分辨率數據，其特征是：所述鑒別率板(2)是精密刻畫的金屬柵網(7)。

2.根據權利要求1所述的一種6nm-100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置，其特征是：所述光源(1)為激光等離子體極紫外光源。

3.根據權利要求1或2所述的一種6nm-100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置，其特征是：所述網柵網格精度2-25μm.。

4.根據權利要求3所述的一種6nm-100nm波段極紫外成像光學儀器成像質量測試裝置，其特征是：所述網柵用金屬鎳制成。

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