[發明專利]自動化物料傳送系統

有效

• 申請號: 200610160792.4
• 申請日: 2006-12-01
• 公開（公告）號: CN101190748A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發明（設計）人: 王惟正
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: B65G37/00
• 分類號: B65G37/00;B65G35/00;H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明是有關于一種自動化物料傳送系統，特別是有關于一種可提升運送效率的自動化物料傳送系統。

背景技術

一般來說，自動化物料傳送系統(automated?materialhandling?system，AMHS)已被廣泛地應用于半導體廠之中，其可用來輸送制程產品等。為了符合消防法規需求，在自動化物料傳送系統之中通常必須建立多個防火區隔(fire?separationarea)，以防止當半導體廠內的某一區域發生火災時，其火勢會經由自動化物料傳送系統而蔓延于整個半導體廠之內。

請參閱圖1A及圖1B，一已知的自動化物料傳送系統1主要包括有一防火通道10、兩平行的軌道20、多個輸送車30(圖1A及圖1B中僅顯示一輸送車30)以及多個防火門(fire?shutter)40。

兩平行的軌道20皆是設置于防火通道10之中，并且具有多個彼此平行的間隙21。

輸送車30是運行于軌道20之上。更詳細的來說，輸送車30具有多個車輪31，而輸送車30即是通過車輪31而運行于軌道20之上。此外，輸送車30可以是OHT(Overhead?Hoist?Transporter)或OHS(Overhead?Shuttle)的形式。在此，輸送車30是以OHT的形式來做說明。

防火門40是以可移動的方式設置于防火通道10的外部，并且防火門40是與軌道20的間隙21對應。更詳細的來說，當自動化物料傳送系統1接收到火警信號時，多個(或某一個)防火門40便會立即依圖1B中的箭頭A所示的方向來朝向防火通道10的內部移動，并且多個防火門40會通過軌道20的間隙21，以在自動化物料傳送系統1或防火通道10中建立彼此密閉的防火區隔。

然而，自動化物料傳送系統1會具有以下的缺點。當防火門40是位于防火通道10的外部時(亦即當自動化物料傳送系統1并未接收到火警信號時)，軌道20上的間隙21會影響輸送車30的行進。也就是說，輸送車30的車輪31在行進于間隙21上時會產生劇烈的碰撞震動，因而易使得輸送車30上所載運的制程產品遭受損壞或使得輸送車30發生故障，進而會增加制造或維護成本。如上所述，為了避免輸送車30在行進于間隙21上時會產生劇烈的碰撞震動，故輸送車30在行進于間隙21上時的速度必須大幅降低(例如，將輸送車30的速度從3.5m/sec降低至0.4m/sec)。然而，輸送車30的速度大幅降低卻又常會造成輸送車30阻塞于軌道20上，進而會影響制程產品的運送效率。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的是要提供一種自動化物料傳送系統，其不但可符合消防法規需求，還可提升制程產品的運送效率。

本發明基本上采用如下所詳述的特征以為了要解決上述的問題。也就是說，本發明包括一防火通道；一第一軌道，設置于該防火通道之中，并且具有至少一第一間隙；一第二軌道，設置于該防火通道之中，并且是平行于該第一軌道，其中，該第二軌道具有至少一第二間隙，以及該第二間隙是對應并平行于該第一間隙；至少一輸送車，是以移動的方式設置于該第一軌道及該第二軌道之上，并且具有至少一第一車輪及至少一第二車輪，其中，該第一車輪及該第二車輪是分別滾動于該第一軌道及該第二軌道之上，以及該第一間隙及該第二間隙是分別以一預定角度傾斜于該第一車輪的輪軸及該第二車輪的輪軸；以及至少一防火門，是以移動的方式連接于該防火通道，并且是選擇性地通過該第一間隙及該第二間隙，用以在該防火通道中建立密閉的防火區隔。

本發明所述的自動化物料傳送系統，該第一車輪的長度是大于該第一間隙的水平寬度，以及該第二車輪的長度是大于該第二間隙的水平寬度。

本發明所述的自動化物料傳送系統，該第二間隙是對應并平行于該第一間隙。