[發(fā)明專利]離子源

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610157068.6
• 申請日: 2006-11-24
• 公開（公告）號: CN101192497A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 凌維成
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01J27/02
• 分類號: H01J27/02;H01J37/08;C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子源，其包括一個本體，該本體包括一放電室；一陽極，設(shè)置在該放電室內(nèi)，該本體的頂部設(shè)置一開口，在該本體的頂部與該開口相鄰處設(shè)置有陰極電極，該陰極電極與該陽極相對設(shè)置，其特征在于：該離子源還包括多個夾持臂，每個夾持臂包括夾持部和與夾持部相連的絕緣部，該夾持部的另一端夾持有陰極燈絲，該絕緣部的另一端與該本體樞軸連接，經(jīng)由轉(zhuǎn)動該夾持臂可使其夾持部與該陰極電極形成電連接并使其陰極燈絲位于所述開口位置以與該陽極形成電氣回路。

2.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：該本體的與該頂部相鄰的側(cè)壁上設(shè)置有一對轉(zhuǎn)軸，該多個夾持臂的絕緣部依次套設(shè)在該轉(zhuǎn)軸上并與該轉(zhuǎn)軸固定連接。

3.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：該本體的與該頂部相鄰的側(cè)壁上設(shè)置有多對轉(zhuǎn)軸，該多個夾持臂的絕緣部分別套設(shè)在相應(yīng)的轉(zhuǎn)軸上并與該轉(zhuǎn)軸固定連接。

4.如權(quán)利要求2或3所述的離子源，其特征在于：該轉(zhuǎn)軸的軸線與該陰極電極的中心軸線位于同一平面。

5.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：每個夾持臂的夾持部上設(shè)置有凸塊，用于當(dāng)陰極燈絲位于所述開口位置時，該凸塊與該陰極電極相接觸以使該夾持部與該陰極電極形成電連接。

6.如權(quán)利要求5所述的離子源，其特征在于：該陰極電極為圓柱狀，該凸塊與該陰極電極相接觸的表面為曲面。

7.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：該夾持部由導(dǎo)電材料制成。

8.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：該絕緣部由非導(dǎo)電材料制成。

9.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：該離子源還包括一環(huán)繞該放電室的磁路，該磁路包括背磁極、磁體、外磁極和頂部磁極，用于在放電室內(nèi)形成一磁場。

10.如權(quán)利要求1所述的離子源，其特征在于：該本體還包括一供氣系統(tǒng)，用于向該放電室內(nèi)通入工作氣體和反應(yīng)氣體。