[發(fā)明專利]拋光液傳輸設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610148816.4
• 申請日: 2006-12-28
• 公開（公告）號: CN101209542A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 陳肖科
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;F17D1/14
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 逯長明

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及化學機械拋光工藝，特別涉及化學機械拋光液的傳輸設備及傳輸方法。

背景技術(shù)

化學機械拋光(Chemical?Mechanical?Polishing，簡稱CMP)技術(shù)是機械削磨和化學腐蝕的組合技術(shù)，化學機械拋光技術(shù)借助超微粒子的研磨作用以及漿料的化學腐蝕作用在被研磨的介質(zhì)表面上形成光潔平坦平面，現(xiàn)已成為半導體加工行業(yè)的主導技術(shù)。化學機械拋光是集成電路(IC)向微細化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物，也是晶片向200mm、300mm乃至更大直徑過渡、提高生產(chǎn)效率、降低制造成本及襯底全局化平坦化必備的工藝技術(shù)。舉例來說，典型的邏輯器件包括七道內(nèi)介質(zhì)層CMP工序，七道金屬CMP工序和一道淺溝槽隔離(STI)CMP工序。因此說，CMP工藝已經(jīng)成為制備集成電路的半導體工藝的中樞技術(shù)。

申請?zhí)枮?00510055834.3的中國專利申請公開了一種應用于化學機械拋光機臺的拋光液傳輸設備，包含有傳輸管道；第一拋光液供應槽，連通至該傳輸管道用以注入拋光劑至該傳輸管道中；第二拋光液供應槽連通至該傳輸管道用以注入清潔藥劑至該傳輸管道中；第三拋光液供應槽，連通至該傳輸管道用以注入抗蝕劑至該傳輸管道中；以及第四拋光液供應槽，連通至該傳輸管道用以注入氧化劑至該傳輸管道中。該傳輸設備能夠使得拋光劑、氧化劑、清潔藥劑與抗蝕劑在傳輸管道中快速混合并直接傳輸至化學機械拋光機臺。

但目前的拋光液傳輸設備一般都需同時向三臺或三臺以上的化學機械拋光機臺供應拋光液，而各個化學機械拋光機臺之間的位置相隔較遠，導致拋光液從傳輸管道傳輸至化學機械拋光機臺的距離很長。

因此，現(xiàn)有技術(shù)的缺點在于：化學機械拋光液停留在傳輸管道中的時間過長，影響化學機械拋光液的質(zhì)量，導致化學機械拋光的工藝質(zhì)量降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是避免化學機械拋光液在傳輸管道中停留時間過長。

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種拋光液傳輸設備，包括：

拋光液配液裝置，連通第一傳輸管道和第二傳輸管道，用于配制拋光液通過第一傳輸管道輸出并接收第二傳輸管道輸回的拋光液；

循環(huán)泵，與第一傳輸管道和第二傳輸管道連通，用于將拋光液配液裝置中的拋光液通過第一傳輸管道抽出，再通過第二傳輸管道傳輸回拋光液配液裝置；

第一傳輸管道，連通拋光液配液裝置和循環(huán)泵，用于傳輸循環(huán)泵從拋光液配液裝置抽取的拋光液；

第二傳輸管道，連通循環(huán)泵和拋光液配液裝置，與拋光液配液裝置、第一傳輸管道和循環(huán)泵構(gòu)成封閉的循環(huán)管路，用于傳輸循環(huán)泵向拋光液配液裝置傳輸?shù)膾伖庖海?/p>

供應盒，外接于第一傳輸管道或第二傳輸管道上，緊靠于化學機械拋光機臺，并與化學機械拋光機臺連通，用于抽取第一傳輸管道或第二傳輸管道內(nèi)的拋光液向化學機械拋光機臺傳輸。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點：本發(fā)明拋光液傳輸設備通過將拋光液配液裝置、循環(huán)泵、第一傳輸管道和第二傳輸管道組成循環(huán)傳輸管路，通過供應盒向化學機械拋光機臺供應拋光液，避免了拋光液在傳輸管道中停留時間過長，從而提高了化學機械拋光的工藝質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本發(fā)明拋光液傳輸設備示意圖；

圖2是本發(fā)明拋光液傳輸設備的拋光液配液裝置圖。

具體實施方式

本發(fā)明拋光液傳輸設備通過將拋光液配液裝置、循環(huán)泵、第一傳輸管道和第二傳輸管道組成循環(huán)傳輸管路，通過供應盒向化學機械拋光機臺供應拋光液，避免了拋光液在傳輸管道中停留時間過長。

圖1給出本發(fā)明拋光液傳輸設備的實施例，本發(fā)明拋光液傳輸設備包括：

拋光液配液裝置1，連通第一傳輸管道5和第二傳輸管道6，用于配制拋光液通過第一傳輸管道5輸出并接收第二傳輸管道6輸回的拋光液；

循環(huán)泵2，與第一傳輸管道5和第二傳輸管道6連通，用于將拋光液配液裝置1中的拋光液通過第一傳輸管道5抽出，再通過第二傳輸管道6傳輸回拋光液配液裝置1；

第一傳輸管道5，連通拋光液配液裝置1和循環(huán)泵2，用于傳輸循環(huán)泵2從拋光液配液裝置1抽取的拋光液；

第二傳輸管道6，連通循環(huán)泵2和拋光液配液裝置1，與拋光液配液裝置1、第一傳輸管道5和循環(huán)泵2構(gòu)成封閉的循環(huán)管路，用于傳輸循環(huán)泵2向拋光液配液裝置1傳輸?shù)膾伖庖海?/p>

供應盒3，外接于第一傳輸管道5或第二傳輸管道6上，緊靠于化學機械拋光機臺4，并與化學機械拋光機臺4連通，用于抽取第一傳輸管道5或第二傳輸管道6內(nèi)的拋光液向化學機械拋光機臺4傳輸。

所述拋光液配液裝置如圖2所示，包括：