[發明專利]拋光液傳輸設備

有效

• 申請號: 200610148816.4
• 申請日: 2006-12-28
• 公開（公告）號: CN101209542A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發明（設計）人: 陳肖科
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;F17D1/14
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種拋光液傳輸設備，其特征在于，包括：

拋光液配液裝置，連通第一傳輸管道和第二傳輸管道，用于配制拋光液通過第一傳輸管道輸出并接收第二傳輸管道輸回的拋光液；

循環泵，與第一傳輸管道和第二傳輸管道連通，用于將拋光液配液裝置中的拋光液通過第一傳輸管道抽出，再通過第二傳輸管道傳輸回拋光液配液裝置；

第一傳輸管道，連通拋光液配液裝置和循環泵，用于傳輸循環泵從拋光液配液裝置抽取的拋光液；

第二傳輸管道，連通循環泵和拋光液配液裝置，與拋光液配液裝置、第一傳輸管道和循環泵構成封閉的循環管路，用于傳輸循環泵向拋光液配液裝置傳輸的拋光液；

供應盒，外接于第一傳輸管道或第二傳輸管道上，緊靠于化學機械拋光機臺，并與化學機械拋光機臺連通，用于抽取第一傳輸管道或第二傳輸管道內的拋光液向化學機械拋光機臺傳輸。

2.如權利要求1所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述拋光液配液裝置包括：

拋光泥漿供應裝置，與拋光液預混合裝置通過傳輸管道相連，用于向拋光液預混合裝置提供拋光泥漿；

溶劑供應裝置，與拋光液預混合裝置通過傳輸管道相連，用于向拋光液預混合裝置中提供稀釋劑；

拋光液預混合裝置，分別與拋光泥漿供應裝置、溶劑供應裝置和拋光液混合裝置通過傳輸管道相連，用于稱重規定重量的拋光泥漿和相應重量比例的稀釋劑，并將稱重后的拋光泥漿和稀釋劑提供給拋光液混合裝置；

拋光液混合裝置，用于接收拋光液預混合裝置提供的拋光泥漿和稀釋劑，并充分攪拌以稀釋拋光泥漿得到拋光液；

回流泵，與第三傳輸管道、三通閥門、第四傳輸管道及拋光液混合裝置組成封閉的循環管路，用于抽取拋光液混合裝置提供的拋光液，并通過第三傳輸管道、第四傳輸管道輸回拋光液混合裝置，以保證拋光液質量；

三通閥門，分別連通第三傳輸管道、第四傳輸管道和第五傳輸管道，用于控制循環管路和傳輸管路的導通或關閉；

第三傳輸管道，分別與回流泵和三通閥門連通，用于輸送回流泵輸出的拋光液；

第四傳輸管道，分別與三通閥門和拋光液混合裝置連通，用于向拋光液混合裝置輸送拋光液；

第五傳輸管道，分別與三通閥門和拋光液供料箱連通，用于向拋光液供料箱輸送拋光液；

拋光液供料箱，與拋光液混合裝置、第三傳輸管道、回流泵、三通閥門及第五傳輸管道組成傳輸管路，用于存儲第五傳輸管道輸送的拋光液并接收第二傳輸管道輸回的拋光液；

供料泵，與拋光液供料箱通過傳輸管道相連，用于抽取拋光液供料箱內存儲的拋光液，并輸送至第一傳輸管道。

3.如權利要求1所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述循環管道為雙層密封管道，其中內層為密封塑料軟管，外層為密封塑料硬管。

4.如權利要求1所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述供應盒包括用于傳輸拋光液的傳輸管道。

5.如權利要求2所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述規定重量為50公斤。

6.如權利要求2所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述相應重量比例為每10公斤拋光泥漿0.3公斤稀釋劑。

7.如權利要求2所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述稀釋劑是雙氧水。

8.如權利要求2所述的拋光液傳輸設備，其特征在于，所述三通閥門僅當拋光液供料箱內的拋光液不足時，才關閉循環管路，開啟傳輸管路，使得拋光液混合裝置通過傳輸管路向拋光液供料箱輸送拋光液。