[發明專利]氣瓶增壓裝置無效
| 申請號： | 200610148079.8 | 申請日： | 2006-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN101210649A | 公開（公告）日： | 2008-07-02 |
| 發明（設計）人： | 錢吳全;蔡國輝;李偉;張勇 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | F17C7/00 | 分類號： | F17C7/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 增壓 裝置 | ||
1.一種氣瓶增壓裝置，用于增加氣瓶內部的壓力，所述裝置包括：
一控制電路，其接收來自所述氣瓶的壓力信號，根據所述壓力信號選擇性輸出一工作信號；
一加熱設備，其接收來自所述控制設備的工作信號，對所述氣瓶進行加熱。
2.如權利要求1所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述氣瓶連接于出氣管道，在所述管道上設有氣體壓力表來采集所述壓力信號。
3.如權利要求1所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述控制設備包括一控制芯片以及一溫控芯片，所述控制芯片根據所述壓力信號選擇性輸出一觸發信號，所述溫控芯片根據所述觸發信號選擇性輸出所述工作信號。
4.如權利要求3所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述控制芯片設置有第一壓力值和第二壓力值，當所述壓力信號的壓力值壓力低于所述第一壓力值時，所述控制芯片輸出所述觸發信號；當所述壓力信號的壓力值壓力低于所述第一壓力值時，所述控制芯片停止輸出所述觸發信號，并發出更換氣瓶信號。
5.如權利要求3所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述溫控芯片還接收一氣體選擇信號，當所述觸發信號與氣體選擇信號同時有效時，所述溫控芯片輸出所述工作信號。
6.如權利要求1所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述加熱設備輸出一溫度反饋信號至所述控制電路，所述控制電路根據所述溫度反饋信號控制對所述氣瓶的加熱溫度。
7.如權利要求6所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述加熱溫度為60攝氏度。
8.如權利要求1至7任意一項所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述加熱裝置為內置加熱電阻的加熱墊片。
9.如權利要求1至7任意一項所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述加熱裝置為水槽及其相應的水管。
10.如權利要求1至7任意一項所述的氣瓶增壓裝置，其特征在于：所述氣瓶內的氣體為AsH3、BF3或PH3。
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