[發明專利]懸掛式支撐成像系統及光刻裝置無效
| 申請號： | 200610147842.5 | 申請日： | 2006-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN101042539A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 嚴天宏;朱岳彬;袁志揚;王天明;鄒恒杉;唐海明;劉育 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 懸掛 支撐 成像 系統 光刻 裝置 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海微電子裝備有限公司，未經上海微電子裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610147842.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
