[發(fā)明專利]懸掛式支撐成像系統(tǒng)及光刻裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610147842.5 | 申請(qǐng)日： | 2006-12-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101042539A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 嚴(yán)天宏;朱岳彬;袁志揚(yáng);王天明;鄒恒杉;唐海明;劉育 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 懸掛 支撐 成像 系統(tǒng) 光刻 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 同類專利
- 專利分類
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
