[發(fā)明專利]SCR防靜電保護(hù)結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610147414.2 | 申請日: | 2006-12-18 |
| 公開(公告)號: | CN101207122A | 公開(公告)日: | 2008-06-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 蘇慶 | 申請(專利權(quán))人: | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/04 | 分類號: | H01L27/04;H01L23/60 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 顧繼光 |
| 地址: | 201206上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | scr 靜電 保護(hù) 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種SCR防靜電保護(hù)結(jié)構(gòu),包括P型襯底,在所述P型襯底上包括有N阱注入?yún)^(qū)和P阱注入?yún)^(qū);在所述N阱注入?yún)^(qū)內(nèi)包括有一個P型注入?yún)^(qū)和一個N型注入?yún)^(qū),所述N阱注入?yún)^(qū)內(nèi)的P型注入?yún)^(qū)和N型注入?yún)^(qū)之間被一個場氧化層隔離區(qū)隔開;在所述P阱注入?yún)^(qū)也包括有一個P型注入?yún)^(qū)和一個N型注入?yún)^(qū),所述P阱注入?yún)^(qū)的P型注入?yún)^(qū)和N型注入?yún)^(qū)之間有若干二極管單元,所述二極管單元由P型注入?yún)^(qū)和N型注入?yún)^(qū)以及位于二者之間的場氧化層隔離區(qū)組成,其特征在于,在所述N阱注入?yún)^(qū)內(nèi)的P型注入?yún)^(qū)與所述P阱注入?yún)^(qū)的N型注入?yún)^(qū)之間的場氧化層隔離區(qū)的上面設(shè)置有多晶硅,所述多晶硅連接有一個觸發(fā)電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SCR防靜電保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述二極管單元的個數(shù)可以根據(jù)需要的維持電壓設(shè)定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SCR防靜電保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于,所述觸發(fā)電路包括一個電阻和一個電容,所述電阻的一端與所述多晶硅相連接,所述電容的一端也與所述多晶硅相連接,所述電阻的另一端接地,所述電容的另一端連接到ESD電荷注入端。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的;包括有熱磁組件的
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