[發明專利]用于濺射腔室的靶材和工藝套件組件有效
| 申請號： | 200610145254.8 | 申請日： | 2006-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN1982501A | 公開（公告）日： | 2007-06-20 |
| 發明（設計）人： | 艾倫·亞歷山大·里奇;唐尼·揚;揚·理查德·洪;凱瑟琳·A·沙伊貝爾;烏梅什·凱爾卡 | 申請（專利權）人： | 應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐金國;梁揮 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 濺射 工藝 套件 組件 | ||
【權利要求書】：
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