[發明專利]晶舟輔助裝置

無效

• 申請號: 200610142090.3
• 申請日: 2006-10-08
• 公開（公告）號: CN101159244A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 羅志仁;戴碧輝;鄒俊杰;陳秀怡;蔣文國
• 申請（專利權）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 謝麗娜;陳肖梅

技術領域

本發明有關于一種晶舟輔助裝置，特別是有關于一種運送晶圓框架的輔助裝置，使得晶圓框架于取出或置入晶舟時不會造成晶圓的碰觸、摩擦或刮傷。

背景技術

經研磨后的晶圓，將其貼附于晶圓框架(wafer?frame)上，并置于晶舟(或稱為晶圓匣盒，cassette)內運送，以進行后續制程，如切割(dicing)及晶粒(die)取出(pick-up)等。圖1A顯示晶圓框架100的正面圖，晶圓101通過粘膠片(wafer?sheet/tape)102貼附于晶圓框架100的表面。圖1B、圖1C分別顯示晶舟103的俯視圖及立體圖。晶舟103兩側的內側壁104具有多組相對稱的晶舟溝槽(slot)105，晶圓框架100即順著這些晶舟溝槽105而之一滑置于晶舟103內。當所有晶圓框架100都置入晶舟103后，操作人員即將旋轉把手106旋轉拉出并藉以提起及運送晶舟103。

又，在進行切割(dicing)作業前后，通常需要由操作人員以手動方式將晶圓框架100取出作抽片檢查。然而，由于晶舟溝槽105的間距或溝槽寬度遠較晶圓框架100的厚度來得大(通常約為三倍大)，因此在取出或置入晶圓框架100的過程中，容易與相鄰晶圓框架100碰觸、摩擦，造成晶圓101的刮傷。鑒于此，在不進行重新設計、制造晶舟的成本考量下，亟需提出一種裝置，用以輔助晶圓框架于抽取及置入晶舟時，避免晶圓受到碰觸、摩擦及刮傷。

發明內容

有鑒于上述傳統技術的諸多缺陷，本發明的目的之一在于提出一種晶舟輔助裝置，使得晶圓框架于取出或置入晶舟時不會造成晶圓的碰觸、摩擦、或刮傷。

根據上述的目的，本發明提供一種晶舟輔助裝置，至少包括一導軌框，該導軌框包括有一第一導軌槽板、一第二導軌槽板及至少一連接臂，該導軌框通過各連接臂而分別連接第一導軌槽板及第二導軌槽板的側邊，且第一導軌槽板及第二導軌槽板在對應于一晶舟的各個晶舟溝槽的位置分別設有一導軌槽，且各個導軌槽之一端的寬度向導軌槽中間呈現漸縮的態樣，而可將導軌框的各個導軌槽分別串接其所對應的晶舟溝槽。

其中，該晶舟輔助裝置包括有一底座、一側壁及一樞接器；該底座用以定位該晶舟，該側壁設于底座的側邊，而該樞接器的一端連接該側壁，其另一端連接該導軌框，使得該導軌框得以相對該側壁旋轉，而可將該導軌框的各個導軌槽分別串接其所對應的晶舟溝槽。

其中，該樞接器的另一端可選擇連接該第一導軌槽板、該第二導軌槽板及該連接臂的其中之一者。

其中，該晶舟輔助裝置尚包括有一斜度調整機構，其與該底座相互組配，而用以調整該底座與該斜度調整機構的相對角度。

其中，該晶舟輔助裝置的斜度調整機構包括有至少一調整壁，各個該調整壁的一端樞接該底座，而可相對該底座旋轉。

其中，該調整壁的另一端設有一調整槽，且該底座設有一可樞穿該調整槽的調整螺桿，并通過一調整螺絲與該調整螺桿相互組配，而可固定該底座與該斜度調整機構的相對角度。

其中，該導軌槽一端的寬度與該晶舟溝槽的寬度一致，而該導軌槽的另一端的寬度向導軌槽中間呈現漸縮的態樣。

其中，該導軌槽中間的寬度小于該晶舟溝槽的寬度。

其中，該晶舟輔助裝置尚包括有一支撐塊，其設于該側壁的一面，用以限制該導軌框的旋轉角度。

通過上述技術特征，本發明的晶舟輔助裝置，由晶舟取放晶圓框架時，可通過導軌槽的寬度來導引晶圓框架，使晶圓不至于因晃動而碰觸、摩擦或刮傷。

附圖說明

圖1A顯示一晶圓框架的正視圖。

圖1B顯示一晶舟的俯視圖。

圖1C顯示一晶舟的立體圖。

圖2A顯示本發明一實施例晶舟輔助裝置的立體示意圖。

圖2B顯示圖2A的實施例定位一晶舟的立體示意圖。

圖2C顯示圖2B的導軌框旋轉至晶舟上方的立體示意圖。

圖2D顯示導軌框旋轉至晶舟上方時，導軌框的導軌槽與晶舟溝槽的放大示意圖。

圖中符號說明：

100晶圓框架

101晶圓

102黏膠片

103晶舟

104內側壁

105晶舟溝槽

106旋轉把手

201晶舟輔助裝置

202第一導軌槽板

203第二導軌槽板

204導軌槽

205連接臂

206側壁

207導軌框

208支撐塊

209底座

210調整壁