[發明專利]晶舟輔助裝置

無效

• 申請號: 200610142090.3
• 申請日: 2006-10-08
• 公開（公告）號: CN101159244A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 羅志仁;戴碧輝;鄒俊杰;陳秀怡;蔣文國
• 申請（專利權）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 謝麗娜;陳肖梅

1.一種晶舟輔助裝置，至少包括有：

一導軌框，其包括有一第一導軌槽板、一第二導軌槽板及至少一連接臂，其通過各該連接臂而分別連接該第一導軌槽板及該第二導軌槽板的側邊，且該第一導軌槽板及該第二導軌槽板在對應于復數個設置于一晶舟的晶舟溝槽的位置上分別設有一導軌槽，而各個該導軌槽之一端的寬度向該導軌槽中間呈現漸縮的態樣，可將該導軌框串接于該晶舟，藉以令該導軌槽串接其所對應的該晶舟溝槽。

2.如權利要求1所述的晶舟輔助裝置，尚包括有一底座、一側壁及一樞接器；其中，該底座用以定位該晶舟，該側壁設于底座的側邊，而該樞接器之一端連接該側壁，其另一端連接該導軌框，使得該導軌框得以相對該側壁旋轉，而可將該導軌框的各個該導軌槽分別串接其所對應的該晶舟溝槽。

3.如權利要求2所述的晶舟輔助裝置，其中該樞接器的另一端可選擇連接該第一導軌槽板、該第二導軌槽板及該連接臂的其中之一者。

4.如權利要求3所述的晶舟輔助裝置，尚包括有一斜度調整機構，其與該底座相互組配，而用以調整該底座與該斜度調整機構的相對角度。

5.如權利要求4所述的晶舟輔助裝置，其中該斜度調整機構包括有至少一調整壁，各個該調整壁的一端樞接該底座，而可相對該底座旋轉。

6.如權利要求5所述的晶舟輔助裝置，其中該調整壁的另一端設有一調整槽，且該底座設有一可樞穿該調整槽的調整螺桿，并通過一調整螺絲與該調整螺桿相互組配，而可固定該底座與該斜度調整機構的相對角度。

7.如權利要求1所述的晶舟輔助裝置，其中該導軌槽一端的寬度與該晶舟溝槽的寬度一致，而該導軌槽的另一端的寬度向導軌槽中間呈現漸縮的態樣。

8.如權利要求1所述的晶舟輔助裝置，其中該導軌槽中間的寬度小于該晶舟溝槽的寬度。

9.如權利要求2所述的晶舟輔助裝置，尚包括有一支撐塊，其設于該側壁的一面，用以限制該導軌框的旋轉角度。