[發(fā)明專利]一種用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610134135.2
• 申請日: 2006-11-03
• 公開（公告）號: CN101173881A
• 公開（公告）日: 2008-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚軍;張磊;張廣平;謝天生
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院金屬研究所
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32;G01N23/203;G01N13/10
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 張志偉

1.一種用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法，其特征在于采用聚焦離子束系統(tǒng)結(jié)合雙傾轉(zhuǎn)樣品臺和固定表征樣品進(jìn)行離子束制備表征界面，進(jìn)而實現(xiàn)背散射成像，由以下步驟完成：

1)在聚焦離子束系統(tǒng)中，將需要表征的樣品固定在樣品托上，樣品托安裝在聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺上，需要制備表征的部位向側(cè)面放置；

2)利用二次電子成像對樣品高度進(jìn)行校準(zhǔn)識別，將樣品與二次電子探測器之間的工作距離調(diào)整為4.9～5.1mm，聚焦樣品上表面；

3)傾轉(zhuǎn)聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺至與水平方向成50～54度，同時打開離子束，進(jìn)行雙束對中處理，離子束極靴與樣品對中距離為16.3～16.7mm；

4)采用離子束大于3nA的大束流預(yù)加工表征界面，采用50PA～100PA的小束流精加工制備完畢樣品需表征界面；

5)旋轉(zhuǎn)聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺50～54度回到原始平衡位置，此時需背散射表征界面與電子束平行；

6)旋轉(zhuǎn)聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺90度，實現(xiàn)離子束加工界面與入射電子束的垂直，啟用背散射探測器實現(xiàn)背散射電子界面表征。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法，其特征在于：所述雙傾轉(zhuǎn)樣品臺為在聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺上通過傳動軸安裝與聚焦離子束系統(tǒng)主傾轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)向相同的聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺，聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺通過齒輪帶動傳動軸傾轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法，其特征在于：所述步驟4)中，大束流范圍為3-20nA。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法，其特征在于：所述步驟1)中，樣品采用碳導(dǎo)電膠固定在樣品托上，用緊固螺栓固定樣品托在聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法，其特征在于：所述步驟1)中，樣品托通過與聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺連接的銷一端插裝固定，與聚焦離子束系統(tǒng)副傾轉(zhuǎn)臺連接的銷另一端用緊固螺栓固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用離子束加工樣品界面實現(xiàn)背散射表征的方法，其特征在于：所述聚焦離子束系統(tǒng)為雙束聚焦離子束系統(tǒng)，雙束聚焦離子束系統(tǒng)分別提供離子束和電子束。