[發(fā)明專利]表面修飾溶液誘導(dǎo)晶化多晶硅薄膜的制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610130711.6 | 申請日： | 2006-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN100999388A | 公開（公告）日： | 2007-07-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 熊紹珍;吳春亞;李學(xué)東;孟志國;李娟;李鶴 | 申請（專利權(quán)）人： | 南開大學(xué) |
| 主分類號： | C03C17/22 | 分類號： | C03C17/22;C04B41/51;C23C16/24;C23C16/56;C23C14/14;C23C14/58;C30B29/06;C30B28/00;C08J7/06 |
| 代理公司： | 天津佳盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 表面 修飾 溶液 誘導(dǎo) 多晶 薄膜 制備 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于南開大學(xué)，未經(jīng)南開大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610130711.6/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
