[發明專利]表面修飾溶液誘導晶化多晶硅薄膜的制備方法無效
| 申請號： | 200610130711.6 | 申請日： | 2006-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN100999388A | 公開（公告）日： | 2007-07-18 |
| 發明（設計）人： | 熊紹珍;吳春亞;李學東;孟志國;李娟;李鶴 | 申請（專利權）人： | 南開大學 |
| 主分類號： | C03C17/22 | 分類號： | C03C17/22;C04B41/51;C23C16/24;C23C16/56;C23C14/14;C23C14/58;C30B29/06;C30B28/00;C08J7/06 |
| 代理公司： | 天津佳盟知識產權代理有限公司 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 修飾 溶液 誘導 多晶 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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