[發明專利]硅晶片表面缺陷的評價方法有效
| 申請號： | 200610121917.2 | 申請日： | 2006-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN1932496A | 公開（公告）日： | 2007-03-21 |
| 發明（設計）人： | 伊藤亙;長谷川健;鹽多孝明 | 申請（專利權）人： | 株式會社上睦可 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00;G01N1/28;G01N21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉鍇;段曉玲 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 表面 缺陷 評價 方法 | ||
【說明書】：
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