[發明專利]靜電致動折疊梁式納米級步進微致動器無效
| 申請號： | 200610117320.0 | 申請日： | 2006-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN1972102A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 于茂華;王小靜;劉永武;高嶸;謝明春;張敏亮;王國亮 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | H02N1/00 | 分類號： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務所 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 折疊 納米 步進 微致動器 | ||
【說明書】：
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