[發明專利]靜電致動折疊梁式納米級步進微致動器無效
| 申請號： | 200610117320.0 | 申請日： | 2006-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN1972102A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 于茂華;王小靜;劉永武;高嶸;謝明春;張敏亮;王國亮 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | H02N1/00 | 分類號： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務所 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 折疊 納米 步進 微致動器 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海大學，未經上海大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610117320.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
