[發(fā)明專(zhuān)利]用于承載導(dǎo)線架的加熱治具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610111022.0 | 申請(qǐng)日: | 2006-08-09 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN101123197A | 公開(kāi)(公告)日: | 2008-02-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 洪志明;呂岱烈 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/60 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/60;H01L21/683;H01L21/00 |
| 代理公司: | 上海翼勝專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人: | 翟羽 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)灣高雄*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 承載 導(dǎo)線 加熱 | ||
1.一種用于承載導(dǎo)線架的加熱治具,該加熱治具用于在打線接合制造過(guò)程期間暫時(shí)固定一導(dǎo)線架,該導(dǎo)線架包括一芯片承座以及復(fù)數(shù)條引腳,其特征在于該加熱治具包括:
一治具本體,用于承載該導(dǎo)線架的引腳,通過(guò)提供一熱源給該加熱治具,將該治具本體的溫度提高,以增加該導(dǎo)線架的內(nèi)引腳的溫度;
一隔熱元件,固定于該治具本體,并用于承載該導(dǎo)線架的芯片承座,該隔熱元件的熱導(dǎo)系數(shù)低于該治具本體的熱導(dǎo)系數(shù);
一空穴,設(shè)于該治具本體,用于置入該芯片承座,并且該隔熱元件緊鄰于該空穴;以及
一貫穿開(kāi)口,設(shè)于該治具本體,位于該空穴下方,并且該隔熱元件固定于該貫穿開(kāi)口內(nèi),并延伸至該空穴內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的加熱治具,其特征在于該隔熱元件具有一上表面以及一下表面,并包括一貫穿通孔以及復(fù)數(shù)個(gè)凹槽,該貫穿通孔連接于該上表面以及下表面,該復(fù)數(shù)個(gè)凹槽位于該上表面,并且該復(fù)數(shù)個(gè)凹槽連通于該貫穿通孔。
3.如權(quán)利要求1所述的加熱治具,其特征在于該治具本體與該隔熱元件的溫度差大于攝氏20度。
4.如權(quán)利要求1所述的加熱治具,其特征在于該治具本體與該隔熱元件的溫度差介于攝氏20度與攝氏80度之間。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





