[發明專利]噴墨圖案轉移制程及其裝置有效

申請號：	200610109742.3	申請日：	2006-08-09
公開（公告）號：	CN101121348A	公開（公告）日：	2008-02-13
發明（設計）人：	余丞宏;余丞博	申請（專利權）人：	欣興電子股份有限公司
主分類號：	B41M3/12	分類號：	B41M3/12;B41M1/00
代理公司：	北京中原華和知識產權代理有限責任公司	代理人：	壽寧;張華輝
地址：	中國臺灣桃園縣***	國省代碼：	中國臺灣;71
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摘要：
搜索關鍵詞：	噴墨圖案轉移及其裝置
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【說明書】：

技術領域

本發明是有關于一種噴墨制程，且特別是有關于一種噴墨圖案轉移制程及其裝置。

背景技術

傳統以噴墨印刷(inkjet?printing)制程來形成預定圖案具有下列優點，例如不需使用光罩或網版，僅需進行單一步驟即可將光阻油墨任意印刷成所需的圖案(包括文字、規則或不規則等復雜圖案)，使得圖案化線路的制作更為方便，而且能縮短制程時間。另外，由于噴墨印刷制程僅需進行圖案處理、噴墨、印刷以及固化等簡單步驟，而不需進行曝光、顯影等步驟，因此無須使用微影制程中的顯影劑以及底片清潔液，并減少光阻劑的耗用量，而可以減少環保問題的產生。此外，噴墨印刷制程所使用的設備少、材料使用率高以及制程周期短，因此可降低制程成本。

圖1繪示一種具有通孔的基板的示意圖，而圖2繪示現有的噴墨印刷制程直接在基板表面上形成預定圖案的示意圖。請參考圖1，現有基板100以機械鉆孔方式形成通孔102，并以電鍍制程形成導電層104在通孔102的內壁及孔緣之后，再以圖2的噴頭200直接在基板100的上方噴出光阻油墨202，以形成預定圖案。然而，因為油墨202具有流動性，遇到較大孔徑的通孔102時，會陷入于通孔102中。除非通孔102的孔徑很小加上特殊配方的油墨(如高黏度)；亦或是通孔102內已被填孔材料或油墨填滿，才可阻擋油墨202陷入，否則就不能有效地遮蔽通孔102上方和周圍表面。

特別是在光阻噴墨制程中，若光阻油墨202不能有效地遮蔽通孔102上方和周圍表面，將使通孔102內及孔緣上的導電層104暴露于光阻油墨202之外而被后續的蝕刻制程侵蝕，因而造成斷路或可靠度不佳等問題。

發明內容

本發明的目的就是在提供一種噴墨圖案轉移制程，可轉印一預定的成膜圖案在基板上，以改善現有噴墨印刷制程。

本發明提出一種噴墨圖案轉移制程，包括下列步驟：首先，提供一載具，并噴印油墨在載具上以形成一成膜圖案；將成膜圖案與一基板的表面進行面對面的接觸；固化成膜圖案；最后，移除載具以使成膜圖案轉印到基板的表面上。

本發明提出另一種噴墨圖案轉移制程，包括下列步驟：首先，提供一載具，并噴印油墨在載具上以形成一成膜圖案；半固化成膜圖案；將成膜圖案與一基板的表面進行面對面接觸；最后，移除載具以使成膜圖案轉印到基板的表面上。

本發明提出一種噴墨圖案轉移裝置，包括一載具以及一固化器。載具用以放置噴墨所形成的一成膜圖案，而成膜圖案適于與一基板的表面面對面接觸。固化器用以固化成膜圖案。

依照本發明的實施例所述，上述的基板具有至少一通孔或盲孔，通孔或盲孔中具有一導電層，而成膜圖案對應覆蓋于通孔或盲孔上方及周圍表面。

依照本發明的實施例所述，上述的載具包括一硬板、一軟板或一離型紙，其具有可承載成膜圖案的一平坦表面。在另一實施例中，載具的平坦表面與成膜圖案之間還具有一脫膜層。

依照本發明的實施例所述，上述的固化器例如是光固化器，其產生的光能照射于成膜圖案，使其固化。

依照本發明的實施例所述，上述的固化器例如是熱固化器，其產生的熱能加熱于成膜圖案，使其固化。

本發明因采用噴墨圖案轉移制程，可形成預定圖案在一載具上，而非直接形成在基板的表面上，尤其當基板的表面上存在有通孔或盲孔時，本發明可將載具上的預定圖案轉印到通孔或盲孔上方及周圍表面，而不會陷入在通孔或盲孔中，進而提高制程可靠度。

為讓本發明的上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。