[發明專利]防止靜電聚集的玻璃基板載具

有效

• 申請號: 200610100564.8
• 申請日: 2006-07-03
• 公開（公告）號: CN101101396A
• 公開（公告）日: 2008-01-09
• 發明（設計）人: 鄭瑞忠;薛東瀛
• 申請（專利權）人: 元太科技工業股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G03F7/20;B65G49/06;B65D85/48
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 趙燕力

技術領域

本發明屬于一種玻璃基板載具，尤指一種防止靜電聚集的玻璃基板載具。

背景技術

輕薄的液晶屏幕已成為時下的主流商品，普遍應用于各種場合之中。

液晶屏幕的核心元件為玻璃基板，在液晶面板的制造過程中，必須在玻璃基板上制作薄膜晶體管及相關線路，其中的黃光制造過程即是在玻璃基板上涂布一層均勻的光刻膠，接著在后續步驟中配合光掩膜在光刻膠層上形成電路圖案，以便能進行曝光顯影等后續步驟。

目前在玻璃基板上涂布光刻膠的方式是先令該玻璃基板設放置于一旋轉式光刻膠涂布機上，接著在玻璃基板中心滴上適量的光刻膠液，接著啟動光刻膠涂布機以高速旋轉玻璃基板，使光刻膠液受到離心力作用而徑向向外擴散至涂滿整個玻璃基板上表面，同時凝固。

通常光刻膠涂布完成后，在玻璃基板邊緣會留有過度擴散而凝固的光刻膠液所形成的毛邊，因此必須利用一載具將光刻膠涂布機上的玻璃基板運送到一毛邊去除機上，以毛邊去除機來去除毛邊，該載具主要在一可水平移動的基架上突伸有二相向的水平托架，各托架上設置有多個襯墊，各托架通過管線而連接一真空泵，令襯墊可提供真空吸力來吸附玻璃基板，令玻璃基板牢固在托架上而可被載具運送到毛邊去除機。

當載具將玻璃基板運送到達毛邊去除機而令玻璃基板脫離襯墊瞬間，該襯墊上產生的靜電可達15-16千伏特(Kilovolt，KV)，并將損壞玻璃基板上半導體元件及線路，嚴重時可能造成玻璃基板整個報廢，因此大大降低了玻璃基板的良率。

本發明人鑒于現有載具與玻璃基板脫離瞬間容易產生高壓靜電而損壞玻璃基板上原有半導體元件及線路的缺點，改進其不足與缺失，進而發明出一種可有效排放聚集靜電的玻璃基板載具。

發明內容

本發明的目的在于提供一種防止靜電聚集的玻璃基板載具，其可避免過量靜電聚集于載具與玻璃基板相接觸的部位，進而防止玻璃基板脫離載具的瞬間，高量靜電損壞玻璃基板上電路元件，有效提高玻璃基板的良率。

本發明的目的是這樣實現的，一種防止靜電聚集的玻璃基板載具，包含有：

一基架，是接地而可水平移動，在基架上形成有二直立座，該等直立座為導體，在各直立座上分別水平突伸有二相對的ㄇ形托架，該等托架為導體，各托架末端的兩側分別突伸有至少一承托部，該等承托部為導體；

多個襯墊，分別設置在承托部上，具有彈性且為導體；由此，襯墊、承托部、托架及直立座構成一靜電排放路徑，可避免過量靜電聚集而傷害置放在載具上的玻璃基板電路。

前述襯墊是由含碳材料構成而具備導電特性。

前述各襯墊含有石墨而具備導電特性。

前述各襯墊含有金屬而具備導電特性。

前述各襯墊的電阻為103-105歐姆(Ω)/平方(ohms/s?q)。

前述各承托部上貫穿形成有一貫孔，各襯墊上貫穿形成有一與相對應貫孔連通的穿孔，由此可令承托部通過管線而外接一真空泵，以便令襯墊產生真空吸力。

前述各承托部頂面分別形成有一容納相對應襯墊的固定槽。

前述各襯墊是由一下襯墊、一O形環及一上襯墊所組成，該下襯墊為環形，設置在相對應承托部的固定槽內，在下襯墊內壁形成有一內環形突緣，該O形環設置在下襯墊內，在O形環外壁上形成有一與內環形突緣相扣合的外環形突緣，該上襯墊穿套在O形環頂部，在上襯墊上貫穿形成有至少一與承托部貫孔相連通的通孔。

由上述技術手段，各襯墊、承托部、托架及直立座所構成的靜電排放路徑，可避免靜電聚集于襯墊與玻璃基板之間，故當玻璃基板脫離襯墊時，不會有過量靜電損壞玻璃基板上的原有電路，由此可避免玻璃基板報廢，因而能提升玻璃基板良率及降低玻璃基板成本。

附圖說明

圖1：本發明與光刻膠涂布機及毛邊去除機的立體外觀圖。

圖2：本發明襯墊的立體分解圖。

圖3：本發明襯墊的側視剖面圖。

附圖標號：

10基架???????????11托架

12承托部?????????121貫孔

123固定槽????????15直立座

20襯墊???????????21下襯墊

211內環形突緣????230形環

231外環形突緣????25上襯墊

251通孔??????????80光刻膠涂布機

90毛邊去除機

具體實施方式