[發(fā)明專利]防止靜電聚集的玻璃基板載具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610100564.8
• 申請日: 2006-07-03
• 公開（公告）號(hào): CN101101396A
• 公開（公告）日: 2008-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭瑞忠;薛東瀛
• 申請（專利權(quán)）人: 元太科技工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1333
• 分類號(hào): G02F1/1333;G03F7/20;B65G49/06;B65D85/48
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 趙燕力

1.一種防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于包含有：

一基架，其接地而可水平移動(dòng)，在基架上形成有二直立座，該等直立座為導(dǎo)體，在各直立座上分別水平突伸有二相對(duì)的ㄇ形托架，該等托架為導(dǎo)體，各托架末端的兩側(cè)分別突伸有至少一承托部，該等承托部為導(dǎo)體；

多個(gè)襯墊，分別設(shè)置在承托部上，具有彈性且為導(dǎo)體；由此，襯墊、承托部、托架及直立座構(gòu)成一靜電排放路徑，可避免過量靜電聚集而損害置放在載具上的玻璃基板。

2.如權(quán)利要求1所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各襯墊含有含碳材料而具備導(dǎo)電性。

3.如權(quán)利要求1所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各襯墊含有石墨而具備導(dǎo)電性。

4.如權(quán)利要求1所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各襯墊含有金屬而具備導(dǎo)電性。

5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各襯墊的電阻為103-105歐姆/平方。

6.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各承托部上貫穿形成有一貫孔，各襯墊上貫穿形成有一與相對(duì)應(yīng)貫孔連通的穿孔，由此可令承托部通過管線而外接一真空泵，以便令襯墊產(chǎn)生真空吸力。

7.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各承托部頂面分別形成有一容納相對(duì)應(yīng)襯墊的固定槽。

8.如權(quán)利要求7所述的防止靜電聚集的玻璃基板載具，其特征在于：各襯墊是由一下襯墊、一O形環(huán)及一上襯墊所組成，該下襯墊為環(huán)形，設(shè)置在相對(duì)應(yīng)承托部的固定槽內(nèi)，在下襯墊內(nèi)壁形成有一內(nèi)環(huán)形突緣，該O形環(huán)設(shè)置在下襯墊內(nèi)，在O形環(huán)外壁上形成有一與內(nèi)環(huán)形突緣相扣合的外環(huán)形突緣，該上襯墊穿套在O形環(huán)頂部，在上襯墊上貫穿形成有至少一與承托部貫孔相連通的通孔。