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[發明專利]微組件對位組裝方法與裝置有效

專利信息
申請號: 200610099265.7 申請日: 2006-07-25
公開(公告)號: CN101114597A 公開(公告)日: 2008-01-30
發明(設計)人: 周明宏;翁文杰 申請(專利權)人: 財團法人工業技術研究院
主分類號: H01L21/50 分類號: H01L21/50;H01L21/60;H01L21/56;H01L21/68
代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 代理人: 孫皓晨
地址: 中國*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 組件 對位 組裝 方法 裝置
【權利要求書】:

1.一種微組件對位組裝方法,其特征在于,其包括有下列步驟:

提供一具有復數個組合端點的載具;

分別形成一凸層在所述復數個組合端點上;

形成一液珠在所述凸層上;

提供一微組件在所述液珠上;

去除所述液珠,使所述微組件與所述組合端點連接;以及

通過一固著方式將所述微組件固定在所述載具上。

2.如權利要求1所述的微組件對位組裝方法,其特征在于,其中形成所述液珠的方式是選擇利用噴霧方式、浸潤方式、點滴方式以及利用容置有液體且具有復數個細孔之一容器,使所述細孔產生所述液珠的方式其中之一。

3.如權利要求2所述的微組件對位組裝方法,其特征在于,其中還提供一壓力施加在所述容器內的液體上。

4.如權利要求1所述的微組件對位組裝方法,其特征在于,其中所述固著方式還包括有下列步驟:

在所述微組件上以一膠材進行點膠;以及

硬化所述膠材。

5.一種微組件對位組裝方法,其特征在于,其包括有下列步驟:

提供一具有復數個組合端點的載具;

分別形成一膠層在所述復數個組合端點上;

形成一液珠在所述膠層上;

提供一微組件在所述液珠上;

去除所述液珠,使所述微組件與所述組合端點連接;以及

接合所述膠層與所述微組件。

6.如權利要求5所述的微組件對位組裝方法,其特征在于,形成所述液珠的方式是選擇利用噴霧方式、浸潤方式、點滴方式以及利用容置有液體且具有復數個細孔之一容器,使所述細孔產生所述液珠的方式其中之一。。

7.如權利要求6所述的微組件對位組裝方法,其特征在于,還提供一壓力施加在所述容器內的液體上。

8.如權利要求5所述的微組件對位組裝方法,其特征在于,接合所述微組件與所述膠層的方式為超音波以及加熱方式其中之一。

9.一種用以實現權利要求1-4所述的微組件對位組裝方法的微組件對位組裝裝置,其特征在于,其包含有:

一輸送裝置,其提供輸送具有復數個組合端點之一載具;

一轉置裝置,其接收所述載具,并在所述組合端點上形成一凸層;

一液珠產生裝置,其接收具有所述凸層的所述載具,并在所述凸層上形成一液珠;

一整列轉置裝置,其提供復數個微組件,并將所述微組件置放在所述液珠上;

一液珠去除裝置,其接收具有所述復數個微組件的所述載具,并去除所述液珠,使所述微組件與所述組合端點相連接;以及

一覆膠裝置,其是接收由所述液珠去除裝置出來的載具,然后提供一膠材以固定所述微組件在所述載具上。

10.如權利要求9所述的微組件對位組裝裝置,其特征在于,所述液珠產生裝置更包括有一容器,其具有容置一液體的容置空間,所述容器之一側具有復數個細孔與所述容置空間相連通,所述液珠產生裝置更包括有一壓力產生單元,提供壓力作用在所述液體上。

11.如權利要求9所述的微組件對位組裝裝置,其特征在于,所述液珠產生裝置為一噴霧產生裝置,所述噴霧產生裝置可選擇為一壓電式噴霧裝置、熱泡式噴霧裝置以及超音波噴霧裝置其中之一。

12.如權利要求9所述的微組件對位組裝裝置,其特征在于,所述覆膠裝置更包括有:

一點膠單元,其提供所述膠材在所述微組件上;

一烘烤單元,其提供烘干所述膠材;以及

一冷卻單元,其提供冷卻所述膠材。

13.一種用以實現權利要求5-8所述的微組件對位組裝方法的微組件對位組裝裝置,其包含有:

一輸送裝置,其提供輸送具有復數個組合端點之一載具;

一轉置裝置,其接收所述載具,并在所述組合端點上形成一膠層;

一液珠產生裝置,其接收具有所述膠層的所述載具,并在所述膠層上形成一液珠;

一整列轉置裝置,其提供復數個微組件,并將所述微組件置放在所述液珠上;

一液珠去除裝置,其接收具有所述復數個微組件的所述載具,并去除所述液珠,使所述微組件與所述組合端點相連接;以及

一接合裝置,其提供能量使所述膠層與所述微組件接合。

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