[發(fā)明專利]改變晶圓在制品制程流的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610083026.2 | 申請日： | 2006-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN101082815A | 公開（公告）日： | 2007-12-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林志聰;徐詩凱 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/02 | 分類號： | G05B19/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 改變 制品 制程流 方法 | ||
1.一種改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，該改變晶圓在制品的制程流的方法包括下列步驟：
于一第一制程流的一第一機(jī)臺的結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一制程流更換操作的觸發(fā)點(diǎn)；
在上述機(jī)臺設(shè)定一預(yù)約切換操作；
接收一切換制程流的命令；
判斷一晶圓在制品為正在執(zhí)行或正在等候的狀態(tài)；
若上述晶圓在制品為正在等候的狀態(tài)，則直接將上述該晶圓在制品自上述第一制程流的第一機(jī)臺更換到一第二制程流的一第二機(jī)臺；以及
若上述晶圓在制品為正在執(zhí)行的狀態(tài)，則觸發(fā)上述預(yù)約切換操作，并
根據(jù)上述預(yù)約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機(jī)臺更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令且上述晶圓在制品正在上述第一機(jī)臺執(zhí)行其制程時，則將上述第一機(jī)臺設(shè)定為正在執(zhí)行的狀態(tài)，并且根據(jù)上述預(yù)約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機(jī)臺更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令時，若上述晶圓在制品是剛移出上述第一機(jī)臺的前一機(jī)臺且尚未進(jìn)入上述第一機(jī)臺，則上述晶圓在制品的執(zhí)行狀態(tài)改變而成為正在等候的晶圓在制品，并且直接將上述正在等候的晶圓在制品更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于臺灣積體電路制造股份有限公司，未經(jīng)臺灣積體電路制造股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610083026.2/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
