[發明專利]空氣干燥機的空氣干燥裝置

無效

• 申請號: 200610082896.8
• 申請日: 2006-06-19
• 公開（公告）號: CN101091865A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發明（設計）人: 吳進明
• 申請（專利權）人: 博士門股份有限公司
• 主分類號: B01D53/26
• 分類號: B01D53/26;F24F3/14
• 代理公司: 中國商標專利事務所有限公司
• 代理人: 萬學堂

技術領域

本發明是關于一種空氣干燥機的空氣干燥裝置，其是為一種使用于可將空氣變干燥，再由空氣干燥裝置輸出至放置晶圓的密閉柜及一般防潮柜使用。

背景技術

臺灣屬于海島型氣候，于空氣中會帶有較多水份，再加上少數的油及灰塵等雜質，會使得晶圓于制成集成電路時產生相當程度的不良率。

為了解決上述問題，目前有兩種解決的方法，第一種是在一裝滿干燥劑的容器，由進氣管路打入壓縮空氣，壓縮空氣中的水份擠入干燥劑，干燥空氣經出氣管路進入密閉柜，待干燥劑水份飽和，電磁閥關閉進/出氣管路，開啟泄壓閥，瞬間將干燥劑的飽和水份帶走，以使干燥劑可以重新做干燥空氣使用，但此種做法為一般工業用，體積大、零件多、控制電路復雜且成本高，產生干燥空氣速度慢，故一般晶圓廠多不使用。

第二種為在放置晶圓的密閉柜不斷打入氮氣俗稱氮氣柜，將原本柜內帶有水份的空氣擠出，一般的晶圓廠都使用，但亦具有成本高的缺點，實有加以改良的必要。

發明內容

有鑒于現有構造所產生的缺點，本發明的目的即在提供一種空氣干燥機的空氣干燥裝置，主要可以達到零件少、成本低的目的。

基于前述目的，本發明所運用的技術手段是在于提供一種空氣干燥機的空氣干燥裝置，包括有：

加壓/泄壓循環裝置，其中具有一組并列的第一、第二管體，第一、第二管體內部的下、上側分別設有過濾件，位于一組相對的過濾件間設有多數的干燥劑；

三通閥，設置于第一、第二管體下側，三通閥設有一進氣管與三通閥內部相通，三通閥內設通道分別可與第一、第二管體相通；

相對于進氣管的通道附近設置一鋼珠，通道兩側并位于鋼珠側邊設有密封圈與內部具通孔的螺絲；

閥座，設于第一、第二管體上側，其內部具有與第一、第二管體相通的信道，并設有一輸氣管；

分別有一中空的單向閥，其上側與閥座固設，單向閥下側設置過濾件，于單向閥側邊設置旁通路。

本發明所提供的創新設計，可以獲得的具體功效增進包括有：

零件少與成本低：由于本發明中的空氣干燥裝置，其所必需要使用到的零件少，因而可達到成本低的目的。

附圖說明

圖1：是本發明的立體外觀圖。

圖2：是本發明的立體分解圖。

圖3：是本發明當使用于空氣干燥機上的側視平面圖。

圖4：是本發明當使用于空氣干燥機上的俯視平面圖。

圖5：是本發明的使用實施例的剖面圖。

圖6：是本發明的使用實施例的另一剖面圖。

【主要組件符號說明】

10--第一管體????11--過濾件

12--過濾件

20--第二管體

30--干燥劑

40--三通閥??????41--進氣管

42--信道????????43--鋼珠

44--密封圈??????45--螺絲

50--第一閥??????60--第二閥

61--排水管

70--閥座????????71--信道

72--輸氣管

80--單向閥??????81--旁通路

82--彈簧????????83--珠體

84--密封圈

90--過濾器????91--進氣開關

92--過濾器????901--排水管

具體實施方式

本發明是為一種空氣干燥機的空氣干燥裝置如圖1至圖4中所示，于本發明中所使用的空氣干燥裝置是使用于一空氣干燥機內，包括有：

加壓/泄壓循環裝置，其中具有一組并列的中空圓柱形第一、第二管體10/20，第一、第二管體10/20內部的下、上側分別設有呈半球形的過濾件11/12，其中一組相對的過濾件11/12的方向互為反向設置，并位于一組相對的過濾件11/12間設有多數的干燥劑30如圖5；

三通閥40，設置于第一、第二管體10/20下側，三通閥40設有一進氣管41與三通閥40內部相通，三通閥40內設通道42分別可與第一、第二管體10/20相通；

相對于進氣管41的通道42附近設置一鋼珠43，通道42兩側并位于鋼珠43側邊設有密封圈44與內部具通孔的螺絲45，鋼珠43可受到密封圈4?4的止擋，而使空氣無法向一側流通；

第一閥50、第二閥60分別設于三通閥40下側，其分別與三通閥40下側相通，第一閥50、第二閥60下側設有相通的排水管路61，可供于排水之用，并于排水管路61的外側端設置可供消音的消音器；