[發(fā)明專利]空氣干燥機(jī)的空氣干燥裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610082896.8
• 申請日: 2006-06-19
• 公開（公告）號: CN101091865A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳進(jìn)明
• 申請（專利權(quán)）人: 博士門股份有限公司
• 主分類號: B01D53/26
• 分類號: B01D53/26;F24F3/14
• 代理公司: 中國商標(biāo)專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 萬學(xué)堂

1.一種空氣干燥機(jī)的空氣干燥裝置，空氣干燥機(jī)具有一過濾器、進(jìn)氣開關(guān)，與過濾器連接設(shè)排水管，空氣干燥機(jī)設(shè)有流量表與壓力計，于空氣干燥機(jī)所設(shè)的儀表板上可顯示相關(guān)的讀數(shù)，干燥空氣可再經(jīng)一過濾器再輸入于放置晶圓的密閉柜；其特征在于：

加壓/泄壓循環(huán)裝置，其中具有一組并列的第一、第二管體，第一、第二管體內(nèi)部的下、上側(cè)分別設(shè)有過濾件，位于一組相對的過濾件間設(shè)有多數(shù)的干燥劑；

三通閥，設(shè)置于第一、第二管體下側(cè)，三通閥設(shè)有一進(jìn)氣管與三通閥內(nèi)部相通，三通閥內(nèi)設(shè)信道分別可與第一、第二管體相通；

相對于進(jìn)氣管的信道附近設(shè)置一鋼珠，信道兩側(cè)并位于鋼珠側(cè)邊設(shè)有密封圈與內(nèi)部具孔的螺絲；

閥座，設(shè)于第一、第二管體上側(cè)，其內(nèi)部具有與第一、第二管體相通的信道，并設(shè)有一輸氣管；

分別有一中空的單向閥，其上側(cè)與閥座固設(shè)，單向閥下側(cè)設(shè)置過濾件，于單向閥側(cè)邊設(shè)置旁通路。

2.如權(quán)利要求第1項所述的空氣干燥機(jī)的空氣干燥裝置，其特征在于，其中的過濾件呈半球形，一組相對的過濾件互為反向設(shè)置。

3.如權(quán)利要求第1或2項所述的空氣干燥機(jī)的空氣干燥裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括第一閥、第二閥分別設(shè)于三通閥下側(cè)，其分別與三通閥下側(cè)相通，第一閥、第二閥下側(cè)設(shè)有相通的排水管路。

4.如權(quán)利要求第3項所述的空氣干燥機(jī)的空氣干燥裝置，其特征在于，其中于單向閥內(nèi)部由上至下依序設(shè)彈簧與珠體及密封圈。